Semiconductor yndustry easken fan grafyt materiaal easken binne benammen heech, fyn dieltsje grutte fan grafyt hat hege presyzje, hege temperatuer ferset, hege sterkte, lyts ferlies en oare foardielen, lykas: sintered grafyt produkten skimmel.Om't de grafytapparatuer brûkt yn 'e semiconductor-yndustry (ynklusyf kachels en har sinterde diesen) ferplicht binne om werhelle ferwaarmings- en koelprosessen te wjerstean, om de libbensdoer fan grafytapparatuer te ferlingjen, is it normaal fereaske dat de brûkte grafytmaterialen stabile prestaasjes hawwe en waarmte-resistant ynfloed funksje.
01 Graphite accessoires foar semiconductor crystal groei
Alle prosessen brûkt om semiconductor-kristallen te groeien wurkje ûnder hege temperatueren en korrosive omjouwing. De hite sône fan kristal groei oven is meastal foarsjoen fan waarmte-resistant en corrosie-resistant hege-suverheid grafyt komponinten, lykas kachel, kroes, isolaasje silinder, gids silinder, elektrodes, kroes holder, elektrodes nut, ensfh
Wy kinne meitsje alle grafyt dielen fan crystal produksje apparaten, dy't kinne wurde levere yndividueel of yn sets, of oanpaste grafyt dielen fan ferskate maten neffens klant easken. De grutte fan produkten kin wurde mjitten op side, en de jiske ynhâld fan klear produkten kin minder wêzeoer 5ppm.
02 Graphite accessoires foar semiconductor epitaksy
Epitaxial proses ferwiist nei de groei fan in laach fan ien crystal materiaal mei deselde lattice arranzjeminten as it substraat op de single crystal substraat. Yn it epitaksiale proses wurdt de wafel op 'e grafytskiif laden. De prestaasjes en kwaliteit fan 'e grafytskiif spylje in wichtige rol yn' e kwaliteit fan 'e epitaksiale laach fan' e wafel. Op it mêd fan epitaksiale produksje binne in protte ultra-hege suverens grafyt en hege suverens grafytbasis mei SIC-coating nedich.
De grafytbasis fan ús bedriuw foar semiconductor-epitaxy hat in breed oanbod fan tapassingen, kin oerienkomme mei de measte fan 'e meast brûkte apparatuer yn' e yndustry, en hat hege suverens, unifoarme coating, poerbêste libbensdoer, en hege gemyske ferset en termyske stabiliteit.
03 Graphite accessoires foar ion ymplantaasje
Ionimplantaasje ferwiist nei it proses fan it fersnellen fan de plasmabeam fan borium, fosfor en arsenikum ta in bepaalde enerzjy, en dan ynjeksje yn 'e oerflaklaach fan it wafelmateriaal om de materiaaleigenskippen fan' e oerflaklaach te feroarjen. De komponinten fan it ion-implantaasje-apparaat moatte wurde makke fan materialen mei hege suverens mei poerbêste waarmtebestriding, termyske konduktiviteit, minder korrosje feroarsake troch ionbeam en lege ynhâld fan ûnreinheden. High-suverheid grafyt foldocht oan de applikaasje easken, en kin brûkt wurde foar de flecht buis, ferskate slits, elektroden, elektrodes covers, conduits, beam terminators, ensfh fan ion implantation apparatuer.
Wy kinne net allinich grafytbeskermingsdekking leverje foar ferskate ion-ymplantaasjemasines, mar ek leverje grafytelektroden mei hege suverens en ionboarnen mei hege korrosjebestriding fan ferskate spesifikaasjes. Tapasbere modellen: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM en oare apparatuer. Dêrneist kinne wy ek foarsjen oerienkommende keramyk, wolfraam, molybdeen, aluminium produkten en coated dielen.
04 Graphite isolaasje materialen en oaren
Thermyske isolearjende materialen brûkt yn semiconductor produksje apparatuer omfetsje grafyt hurd filt, sêft filt, grafyt folie, grafyt papier, en grafyt tou.
Al ús grûnstoffen binne ymportearre grafyt, dat kin wurde snije neffens de spesifike grutte fan klant syn easken of ferkocht as gehiel.
De carbon-carbon tray wurdt brûkt as de drager foar film coating yn it produksjeproses fan sinne monokristallijn silisium en polycrystalline silisium sellen. It wurkprinsipe is: foegje de silisiumchip yn 'e CFC-bak en stjoer it yn' e ovenbuis om de filmcoating te ferwurkjen.
