CVD Silicon Carbide Coated Graphite Ring

Koarte beskriuwing:

VET Energy silisiumkarbid coated grafytring is in hege-optreden produkt ûntworpen om te foarsjen konsekwinte en betroubere prestaasjes oer in langere perioade. It hat super goede waarmte ferset en termyske uniformiteit, hege suverens, eroazje ferset, wêrtroch't it de perfekte oplossing foar wafer ferwurkjen applikaasjes.

Stjoer e-mail nei ús Download as PDF

Produkt Detail

Produkt Tags

Typyske eigenskippen fan basis grafytmateriaal:

Skynbere tichtens:	1,85 g/cm3
Elektryske wjerstân:	11 μΩm
Flexural Stenth:	49 MPa (500 kgf/cm2)
Shore hurdens:	58
Jiske:	<5ppm
Thermyske konduktiviteit:	116 W/mK (100 kcal/mhr-℃)

Wy leverje ferskate susceptors en grafytkomponinten foar alle hjoeddeistige epitaksy-reaktors. Us produkten omfetsje barrel-susceptors foar LPE-ienheden, pankoek-susceptors foar LPE, CSD, en Gemini-ienheden, en single-wafer-susceptors foar tapaste en ASM-ienheden.

Troch sterke gearwurkingsferbannen te kombinearjen mei liedende OEM's, materiaalekspertize en fabrikaazjekennis, biedt fet it optimale ûntwerp foar jo applikaasje.

VET Energy is deechte fabrikant fan oanpaste grafyt- en silisiumkarbidprodukten mei CVD-coating,leverje kinneferskateoanpaste dielen foar semiconductor en fotovoltaïsche yndustry. Our technyske team komt út top ynlânske ûndersyk ynstellings, kin foarsjen mear profesjonele materiaal oplossingsfoar dy.

Feigenskippen fan ús produkten:

1. Hege temperatuer oksidaasjebestriding oant 1700℃.
2. Hege suverens entermyske uniformiteit
3. Excellent corrosie ferset: soere, alkali, sâlt en organyske reagents.
4. Hege hurdens, kompakt oerflak, fyn dieltsjes.
5. Langere libbensdoer en duorsumer

CVD SiC薄膜基本物理性能 Basis fysike eigenskippen fan CVD SiCcoating
性质 / Eigenskip	典型数值 / Typyske Wearde
晶体结构 / Crystal Struktuer	FCC β faze多晶，主要为（111）取向
密度 / Tichtheid	3,21 g/cm³
硬度 / Hurdens	2500 维氏硬度（500g lading）
晶粒大小 / Grain Grutte	2~10μm
纯度 / Chemical Purity	99,99995%
热容 / Heat Kapasiteit	640 j kg^-1·K^-1
升华温度 / Sublimation Temperatur	2700 ℃
抗弯强度 / Flexural Strength	415 MPa RT 4-punt
杨氏模量 / Jongens Modulus	430 Gpa 4pt bocht, 1300 ℃
导热系数 / ThermalConductivity	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Thermal Expansion (CTE)	4,5×10^-6K^-1