Mikä on sic-pinnoite? – Ammattikorkeakoulun ENERGIA

Piikarbidion kova yhdiste, joka sisältää piitä ja hiiltä, ja sitä esiintyy luonnossa äärimmäisen harvinaisena mineraalina moissaniitti. Piikarbidihiukkaset voidaan liittää yhteen sintraamalla, jolloin muodostuu erittäin kovaa keramiikkaa, jota käytetään laajalti korkeaa kestävyyttä vaativissa sovelluksissa, erityisesti puolijohdeprosessissa.

SiC:n fysikaalinen rakenne

Mikä on SiC Coating?

SiC-pinnoite on tiheä, kulutusta kestävä piikarbidipinnoite, jolla on korkea korroosion- ja lämmönkestävyys ja erinomainen lämmönjohtavuus. Tätä erittäin puhdasta piikarbidipinnoitetta käytetään ensisijaisesti puolijohde- ja elektroniikkateollisuudessa kiekkojen alustan, pohjan ja lämmityselementtien suojaamiseen syövyttävältä ja reaktiiviselta ympäristöltä. SiC-pinnoite soveltuu myös tyhjiöuuneihin ja näytteiden lämmittämiseen suurvakuumissa, reaktiivisissa ja happiympäristöissä.

Erittäin puhdas SiC-pinnoitepinta

Mikä on SiC-pinnoitusprosessi?

Ohut kerros piikarbidia kerrostetaan substraatin pinnalle käyttämälläCVD (kemiallinen höyrypinnoitus). Päällystys suoritetaan yleensä 1200-1300°C lämpötiloissa ja substraattimateriaalin lämpölaajenemiskäyttäytymisen tulee olla yhteensopiva piikarbidipinnoitteen kanssa lämpörasituksen minimoimiseksi.

CVD SIC FILM CRYSTAL RAKENNE

CVD SIC -pinnoite FILM CRYSTAL RAKENNE

SiC-pinnoitteen fysikaaliset ominaisuudet näkyvät pääasiassa sen korkean lämpötilan kestävyydessä, kovuudessa, korroosionkestävyydessä ja lämmönjohtavuudessa.

Tyypilliset fyysiset parametrit ovat yleensä seuraavat:

Kovuus: SiC-pinnoitteen Vickers-kovuus on tyypillisesti alueella 2000-2500 HV, mikä antaa niille erittäin korkean kulutus- ja iskunkestävyyden teollisissa sovelluksissa.

Tiheys: SiC-pinnoitteiden tiheys on tyypillisesti 3,1-3,2 g/cm³. Suuri tiheys lisää pinnoitteen mekaanista lujuutta ja kestävyyttä.

Lämmönjohtavuus: SiC-pinnoitteilla on korkea lämmönjohtavuus, tyypillisesti välillä 120-200 W/mK (20°C:ssa). Tämä antaa sille hyvän lämmönjohtavuuden korkeissa lämpötiloissa ja tekee siitä erityisen sopivan puolijohdeteollisuuden lämpökäsittelylaitteisiin.

Sulamispiste: piikarbidin sulamispiste on noin 2730°C ja sillä on erinomainen lämmönkestävyys äärimmäisissä lämpötiloissa.

Lämpölaajenemiskerroin: SiC-pinnoitteilla on alhainen lineaarinen lämpölaajenemiskerroin (CTE), tyypillisesti välillä 4,0-4,5 µm/mK (25-1000 ℃). Tämä tarkoittaa, että sen mittastabiilius on erinomainen suurilla lämpötilaeroilla.

Korroosionkestävyys: SiC-pinnoitteet ovat erittäin kestäviä korroosiolle vahvoissa hapoissa, emäksissä ja hapettavissa ympäristöissä, erityisesti käytettäessä vahvoja happoja (kuten HF tai HCl), niiden korroosionkestävyys ylittää huomattavasti tavanomaisten metallimateriaalien.

SiC-pinnoitteita voidaan levittää seuraaville materiaaleille:

Erittäin puhdas isostaattinen grafiitti (matala CTE)
Volframi
Molybdeeni
Piikarbidi
Piinitridi
Hiili-hiilikomposiitit (CFC)

SiC-pinnoitettuja tuotteita käytetään yleisesti seuraavilla alueilla:

LED-sirun valmistus
Polypiin tuotanto
Puolijohdekiteen kasvu
Pii jaSiC epitaksi
Kiekkojen lämpökäsittely ja etsaus

Miksi valita VET Energy?

VET Energy on johtava piikarbidipinnoitustuotteiden valmistaja, innovaattori ja johtaja Kiinassa, tärkeimpiä piikarbidipinnoitetuotteita ovat mm.SiC-pinnoitettu kiekkoteline, SiC päällystettyepitaksiaalinen suskeptori, SiC-pinnoitettu grafiittirengas, Puolikuun osat SiC-pinnoitteella, SiC-pinnoitettu hiili-hiili-komposiitti, SiC päällystetty kiekkovene, SiC päällystetty lämmitinjne. VET Energy on sitoutunut tarjoamaan puolijohdeteollisuudelle huippuluokan teknologiaa ja tuoteratkaisuja sekä tukee räätälöintipalveluita. Odotamme vilpittömästi, että saamme olla pitkäaikainen kumppanisi Kiinassa.