MITEN TEHDÄ PIIKEKKO

MITEN TEHDÄ PIIKEKKO

A vohvelion noin 1 millimetrin paksuinen piisiivu, jonka pinta on erittäin tasainen teknisesti erittäin vaativien toimenpiteiden ansiosta. Seuraava käyttö määrittää, mitä kiteenkasvatusmenetelmää tulisi käyttää. Esimerkiksi Czochralskin prosessissa monikiteinen pii sulatetaan ja sulaan piin joukkoon upotetaan kynäohut siemenkide. Sitten siemenkidettä pyöritetään ja vedetään hitaasti ylöspäin. Tuloksena on erittäin raskas kolossi, yksikiteinen. Yksikiteiden sähköiset ominaisuudet voidaan valita lisäämällä pieniä yksiköitä erittäin puhtaita seostusaineita. Kiteet seostetaan asiakkaan ohjeiden mukaisesti ja kiillotetaan ja leikataan viipaleiksi. Erilaisten lisätuotannon vaiheiden jälkeen asiakas saa määritellyt kiekot erikoispakkauksissa, jolloin asiakas voi käyttää kiekkoja välittömästi tuotantolinjallaan.

CZOCHRALSKKI-PROSESSI

Nykyään suuri osa piin monokiteistä kasvatetaan Czochralskin prosessilla, jossa sulatetaan monikiteinen korkean puhtauden piitä hyperpuhtaassa kvartsiupokkaassa ja lisätään seostusainetta (yleensä B, P, As, Sb). Ohut, yksikiteinen siemenkide upotetaan sulaan piin. Tästä ohuesta kiteestä kehittyy sitten suuri CZ-kide. Sulan piin lämpötilan ja virtauksen tarkka säätö, kiteen ja upokkaan pyörimisnopeus sekä kiteen vetonopeus johtavat erittäin korkealaatuiseen yksikiteiseen piiharkkoon.

FLOAT ZONE MENETELMÄ

Float zone -menetelmällä valmistetut monokiteet ovat ihanteellisia käytettäviksi tehopuolijohdekomponenteissa, kuten IGBT:issä. Sylinterimäinen monikiteinen piiharkko on asennettu induktiokelan päälle. Radiotaajuinen sähkömagneettinen kenttä auttaa sulattamaan piitä sauvan alaosasta. Sähkömagneettinen kenttä säätelee piivirtausta induktiokäämin pienen reiän läpi ja alapuolella olevaan monokiteeseen (kellukevyöhykemenetelmä). Doping, yleensä B:llä tai P:llä, saadaan aikaan lisäämällä kaasumaisia ​​aineita.