VPE-prosessin aikana jalustan tehtävänä on tukea alustaa ja varmistaa tasainen lämmitys kasvuprosessin aikana. Erityyppiset jalustat sopivat erilaisiin kasvuolosuhteisiin ja materiaalijärjestelmiin. Seuraavassa on joitain yleisesti käytettyjä jalustatyyppejä höyryfaasissaepitaksia:
Tynnyrijalusta
Tynnyrijalkoja käytetään yleisesti vaakasuuntaisissa tai kallistetuissa höyryfaasiepitaksijärjestelmissä. Ne voivat pitää substraatin ja antaa kaasun virrata alustan yli, mikä auttaa saavuttamaan tasaisen epitaksiaalisen kasvun.
Levyn muotoinen jalusta (pysty jalusta)
Levymäiset jalustat sopivat pystysuoraan höyryfaasiepitaksijärjestelmiin, joissa substraatti sijoitetaan pystysuoraan. Tämä muotoilu auttaa vähentämään substraatin ja suskeptorin välistä kosketusaluetta, mikä vähentää lämpöhäviöitä ja mahdollista kontaminaatiota.
Vaakasuuntainen suskeptori
Vaakasuuntaiset suskeptorit ovat vähemmän yleisiä höyryfaasiepitaksissa, mutta niitä voidaan käyttää joissakin spesifisissä kasvujärjestelmissä mahdollistamaan epitaksiaalinen kasvu vaakasuunnassa.
Monoliittinen epitaksiaalinen reaktio-suskeptori
Monoliittinen epitaksiaalinen reaktio-suskeptori on suunniteltu yhdelle substraatille, joka voi tarjota tarkemman lämpötilan hallinnan ja paremman lämpöeristyksen, joka sopii korkealaatuisten epitaksiaalisten kerrosten kasvattamiseen.
Tervetuloa sivuillemme tuotetietoa ja konsultaatiota varten.
Verkkosivustomme: https://www.vet-china.com/
Postitusaika: 30.7.2024