Suositeltu materiaali fotolitografiakoneiden tarkkuusosiin
Puolijohdekentässä,piikarbidi keramiikkamateriaaleja käytetään pääasiassa integroitujen piirien valmistuksen keskeisissä laitteissa, kuten piikarbidityöpöytä, ohjauskiskot,heijastimet, keraaminen imuistukka, varret, hiomalaikat, kiinnikkeet jne. litografiakoneita varten.
Piikarbidin keraamiset osatpuolijohde- ja optisille laitteille
● Keraaminen piikarbidihiomalaikka. Jos hiomalaikka on valmistettu valuraudasta tai hiiliteräksestä, sen käyttöikä on lyhyt ja lämpölaajenemiskerroin suuri. Piikiekkoja prosessoitaessa, erityisesti nopean hionnan tai kiillotuksen aikana, hiomalevyn kuluminen ja lämpömuodonmuutos vaikeuttavat piikiekon tasaisuuden ja yhdensuuntaisuuden varmistamista. Piikarbidikeramiikasta valmistetulla hiomalaikalla on korkea kovuus ja alhainen kuluminen, ja lämpölaajenemiskerroin on periaatteessa sama kuin piikiekkojen, joten sitä voidaan hioa ja kiillottaa suurella nopeudella.
● Keraaminen piikarbidikiinnike. Lisäksi, kun piikiekkoja valmistetaan, niille on suoritettava lämpökäsittely korkeassa lämpötilassa, ja ne kuljetetaan usein piikarbidivalaisimilla. Ne ovat lämmönkestäviä ja vaurioittamattomia. Timantin kaltaista hiiltä (DLC) ja muita pinnoitteita voidaan levittää pinnalle suorituskyvyn parantamiseksi, kiekkojen vaurioiden lievittämiseksi ja kontaminaation leviämisen estämiseksi.
● Piikarbidista valmistettu työpöytä. Esimerkkinä litografiakoneen työpöytä, työpöytä on pääosin vastuussa valotusliikkeen suorittamisesta, mikä vaatii nopeaa, isoiskua, kuuden vapausasteen nanotason ultratarkkaa liikettä. Esimerkiksi litografiakoneessa, jonka resoluutio on 100 nm, peittotarkkuus 33 nm ja viivan leveys 10 nm, työpöydän paikannustarkkuus vaaditaan saavuttaakseen 10 nm, maski-piikiekon samanaikainen askel- ja skannausnopeus on 150 nm/s. ja 120 nm/s, ja maskin skannausnopeus on lähellä 500 nm/s, ja työpöydältä vaaditaan erittäin korkea liiketarkkuus ja vakaus.
Kaaviokaavio työpöydästä ja mikroliikepöydästä (osittainen osa)
● Keraaminen piikarbidi neliömäinen peili. Keskeisten integroitujen piirilaitteiden, kuten litografiakoneiden, avainkomponenteilla on monimutkaiset muodot, monimutkaiset mitat ja ontot kevyet rakenteet, mikä vaikeuttaa tällaisten piikarbidikeraamisten komponenttien valmistamista. Tällä hetkellä valtavirran kansainväliset integroitujen piirien laitevalmistajat, kuten ASML Alankomaissa, NIKON ja CANON Japanissa, käyttävät suuria määriä materiaaleja, kuten mikrokiteistä lasia ja kordieriittia, valmistaakseen neliömäisiä peilejä, litografiakoneiden ydinkomponentteja, ja käyttävät piikarbidia. keramiikka muiden korkean suorituskyvyn yksinkertaisten rakenneosien valmistukseen. Kiinan rakennusmateriaalien tutkimuslaitoksen asiantuntijat ovat kuitenkin käyttäneet patentoitua valmistustekniikkaa suurikokoisten, monimutkaisten, erittäin kevyiden, täysin suljettujen piikarbidikeraamisten neliömäisten peilien ja muiden rakenteellisten ja toiminnallisten optisten komponenttien valmistukseen litografiakoneita varten.
Postitusaika: 10.10.2024