Puolijohdeteollisuuden vaatimukset grafiittimateriaalien vaatimukset ovat erityisen korkeat, grafiitin hienohiukkaskoko on korkea tarkkuus, korkea lämpötilan kestävyys, korkea lujuus, pieni häviö ja muita etuja, kuten: sintratut grafiittituotteet multaa.Koska puolijohdeteollisuudessa käytettävien grafiittilaitteiden (mukaan lukien lämmittimet ja niiden sintratut suulakkeet) vaaditaan kestämään toistuvia lämmitys- ja jäähdytysprosesseja, grafiittilaitteiden käyttöiän pidentämiseksi vaaditaan yleensä, että käytettyjen grafiittimateriaalien suorituskyky on vakaa ja lämmönkestävä iskutoiminto.
01 Grafiittitarvikkeet puolijohdekiteiden kasvattamiseen
Kaikki puolijohdekiteiden kasvattamiseen käytetyt prosessit toimivat korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävässä ympäristössä. Kiteen kasvuuunin kuuma vyöhyke on yleensä varustettu lämmönkestävällä ja korroosionkestävällä erittäin puhtaalla grafiittikomponentilla, kuten lämmitin, upokas, eristyssylinteri, ohjaussylinteri, elektrodi, upokkaan pidike, elektrodin mutteri jne.
Voimme valmistaa kaikki kiteenvalmistuslaitteiden grafiittiosat, jotka voidaan toimittaa yksittäin tai sarjoina, tai räätälöityjä erikokoisia grafiittiosia asiakkaan tarpeiden mukaan. Tuotteiden koko on mitattavissa paikan päällä ja valmiiden tuotteiden tuhkapitoisuus voi olla pienempikuin 5 ppm.
02 Grafiittitarvikkeet puolijohteen epitaksiin
Epitaksiaalisella prosessilla tarkoitetaan yksikidemateriaalikerroksen kasvua, jossa on sama hilajärjestely kuin substraatti yksikidealustalle. Epitaksiaalisessa prosessissa kiekko ladataan grafiittilevylle. Grafiittilevyn suorituskyvyllä ja laadulla on keskeinen rooli kiekon epitaksiaalikerroksen laadussa. Epitaksiaalisen tuotannon alalla tarvitaan paljon erittäin puhdasta grafiittia ja erittäin puhdasta grafiittipohjaa SIC-pinnoitteella.
Yrityksemme grafiittipohjalla puolijohteiden epitaksia varten on laaja valikoima sovelluksia, se sopii useimpiin teollisuudessa yleisesti käytettyihin laitteisiin, ja sillä on korkea puhtaus, tasainen pinnoite, erinomainen käyttöikä sekä korkea kemiallinen kestävyys ja lämpöstabiilisuus.
03 Grafiittitarvikkeet ioni-istutuksiin
Ioni-istutuksella tarkoitetaan prosessia, jossa boorin, fosforin ja arseenin plasmasäde kiihdytetään tiettyyn energiaan ja ruiskutetaan sitten kiekkomateriaalin pintakerrokseen pintakerroksen materiaaliominaisuuksien muuttamiseksi. Ioni-istutuslaitteen komponenttien tulee olla erittäin puhtaita materiaaleja, joilla on erinomainen lämmönkestävyys, lämmönjohtavuus, vähemmän ionisäteen aiheuttamaa korroosiota ja alhainen epäpuhtauspitoisuus. Erittäin puhdas grafiitti täyttää sovellusvaatimukset, ja sitä voidaan käyttää ioni-implantaatiolaitteiden lentoputkeen, erilaisiin rakoihin, elektrodeihin, elektrodien kansiin, putkiin, säteen päätteisiin jne.
Emme voi tarjota vain grafiittisuojausta erilaisille ioni-istutuskoneille, vaan myös erittäin puhtaita grafiittielektrodeja ja ionilähteitä, joilla on korkea korroosionkestävyys erilaisilla eritelmillä. Soveltuvat mallit: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ja muut laitteet. Lisäksi voimme toimittaa myös yhteensopivia keraamisia, volframi-, molybdeeni-, alumiinituotteita ja pinnoitettuja osia.
04 Grafiittieristysmateriaalit ja muut
Puolijohteiden tuotantolaitteissa käytettyjä lämmöneristysmateriaaleja ovat grafiittikova huopa, pehmeä huopa, grafiittifolio, grafiittipaperi ja grafiittiköysi.
Kaikki raaka-aineemme ovat tuontigrafiittia, joka voidaan leikata asiakkaan tarpeiden mukaan tai myydä kokonaisuutena.
Hiili-hiilikaukaloa käytetään kalvopinnoitteen kantajana aurinkomonokiteisen piin ja monikiteisen piikennojen tuotantoprosessissa. Toimintaperiaate on: aseta piisiru CFC-alustalle ja lähetä se uuniputkeen kalvopinnoitteen käsittelemiseksi.
