پوشش سیلیکون کاربید چیست؟

پوشش کاربید سیلیکون،معمولاً به عنوان پوشش SiC شناخته می شود، به فرآیند اعمال لایه ای از کاربید سیلیکون بر روی سطوح از طریق روش هایی مانند رسوب بخار شیمیایی (CVD)، رسوب فیزیکی بخار (PVD) یا پاشش حرارتی اشاره دارد. این پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون با ایجاد مقاومت در برابر سایش استثنایی، پایداری حرارتی و محافظت در برابر خوردگی، خواص سطحی زیرلایه‌های مختلف را افزایش می‌دهد. SiC به دلیل خواص فیزیکی و شیمیایی برجسته خود، از جمله نقطه ذوب بالا (تقریباً 2700 درجه سانتیگراد)، سختی شدید (مقیاس Mohs 9)، مقاومت عالی در برابر خوردگی و اکسیداسیون، و عملکرد استثنایی در فرسایش شناخته شده است.

مزایای کلیدی پوشش سیلیکون کاربید در کاربردهای صنعتی

با توجه به این ویژگی ها، پوشش کاربید سیلیکون به طور گسترده در زمینه هایی مانند هوا فضا، تجهیزات تسلیحاتی و پردازش نیمه هادی استفاده می شود. در محیط های شدید، به ویژه در محدوده 1800-2000 درجه سانتیگراد، پوشش SiC پایداری حرارتی قابل توجهی و مقاومت فرسایشی را نشان می دهد که آن را برای کاربردهای با دمای بالا ایده آل می کند. با این حال، کاربید سیلیکون به تنهایی فاقد یکپارچگی ساختاری مورد نیاز برای بسیاری از کاربردها است، بنابراین از روش‌های پوشش برای استفاده از خواص منحصر به فرد آن بدون به خطر انداختن استحکام جزء استفاده می‌شود. در تولید نیمه هادی، عناصر پوشش داده شده با کاربید سیلیکون، حفاظت قابل اعتماد و پایداری عملکرد را در تجهیزات مورد استفاده در فرآیندهای MOCVD فراهم می کنند.

روش های متداول برای تهیه پوشش سیلیکون کاربید

Ⅰ● پوشش سیلیکون کاربید رسوب شیمیایی بخار (CVD).

در این روش، پوشش‌های SiC با قرار دادن بسترها در یک محفظه واکنش تشکیل می‌شوند، جایی که متیل تری کلروسیلان (MTS) به عنوان پیش‌ساز عمل می‌کند. تحت شرایط کنترل شده - معمولاً 950-1300 درجه سانتیگراد و فشار منفی - MTS تجزیه می شود و کاربید سیلیکون بر روی سطح رسوب می کند. این فرآیند پوشش CVD SiC یک پوشش متراکم و یکنواخت با چسبندگی عالی را تضمین می کند که برای کاربردهای با دقت بالا در بخش های نیمه هادی و هوافضا ایده آل است.

Ⅱ● روش تبدیل پیش ساز (اشباع پلیمر و تجزیه در اثر حرارت - PIP)

یکی دیگر از رویکردهای موثر پوشش اسپری کاربید سیلیکون، روش تبدیل پیش ساز است که شامل غوطه ور کردن نمونه از پیش تیمار شده در محلول پیش ساز سرامیکی است. پس از جارو کردن مخزن اشباع و تحت فشار قرار دادن پوشش، نمونه حرارت داده می شود که منجر به تشکیل پوشش کاربید سیلیکون پس از خنک شدن می شود. این روش برای قطعاتی که به ضخامت پوشش یکنواخت و مقاومت در برابر سایش بیشتر نیاز دارند، ترجیح داده می شود.

خواص فیزیکی پوشش سیلیکون کاربید

پوشش‌های کاربید سیلیکون دارای ویژگی‌هایی هستند که آنها را برای کاربردهای صنعتی ایده‌آل می‌سازد. این خواص عبارتند از:

رسانایی حرارتی: 120-270 W/m·K
ضریب انبساط حرارتی: 4.3 × 10^^(-6)/K (در 20 ~ 800 ℃)
مقاومت الکتریکی: 10^⁵- 10^⁶Ω·cm
سختی: مقیاس موهس 9

کاربردهای پوشش سیلیکون کاربید

در تولید نیمه هادی، پوشش کاربید سیلیکون برای MOCVD و سایر فرآیندهای با دمای بالا از تجهیزات حیاتی مانند راکتورها و گیرنده ها با ارائه مقاومت و پایداری در دمای بالا محافظت می کند. در هوافضا و دفاع، پوشش‌های سرامیکی کاربید سیلیکون برای اجزایی که باید در برابر ضربه‌های با سرعت بالا و محیط‌های خورنده مقاومت کنند، اعمال می‌شود. علاوه بر این، رنگ یا پوشش‌های کاربید سیلیکون نیز می‌تواند در دستگاه‌های پزشکی که نیاز به دوام تحت روش‌های استریل‌سازی دارند، استفاده شود.

چرا پوشش سیلیکون کاربید را انتخاب کنید؟

پوشش‌های کاربید سیلیکون با سابقه ثابت شده در افزایش طول عمر قطعات، دوام و پایداری دمایی بی‌نظیری را ارائه می‌کنند و آنها را برای استفاده طولانی‌مدت مقرون‌به‌صرفه می‌سازد. با انتخاب سطح پوشش داده شده با کاربید سیلیکون، صنایع از کاهش هزینه های تعمیر و نگهداری، افزایش قابلیت اطمینان تجهیزات و بهبود بهره وری عملیاتی سود می برند.

چرا VET ENERGY را انتخاب کنید؟

VET ENERGY یک تولید کننده و کارخانه حرفه ای محصولات پوشش کاربید سیلیکون در چین است. محصولات اصلی پوشش SiC شامل بخاری پوشش سرامیکی کاربید سیلیکون،CVD سیلیکون کاربید پوشش MOCVD Susceptor, حامل گرافیت MOCVD با پوشش CVD SiC, حامل های پایه گرافیت با پوشش SiCزیرلایه گرافیتی با روکش کاربید سیلیکون برای نیمه هادی ها،پوشش SiC / بستر گرافیت پوشش داده شده / سینی برای نیمه هادی, قالب قایق کامپوزیت CFC با پوشش کربن-کربن CVD SiC. VET ENERGY متعهد به ارائه فناوری پیشرفته و راه حل های محصول برای صنعت نیمه هادی است. ما صمیمانه امیدواریم که شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.