سیلیکون کاربیدیک ترکیب سخت حاوی سیلیکون و کربن است و در طبیعت به عنوان ماده معدنی بسیار کمیاب موسانیت یافت می شود. ذرات کاربید سیلیکون را می توان با زینتر کردن به یکدیگر متصل کرد تا سرامیک های بسیار سختی را تشکیل دهند که به طور گسترده در کاربردهایی که نیاز به دوام بالا دارند، به ویژه در فرآیند نیمه هادی استفاده می شود.
ساختار فیزیکی SiC
پوشش SiC چیست؟
پوشش SiC یک پوشش کاربید سیلیکونی متراکم و مقاوم در برابر سایش با مقاومت در برابر خوردگی و حرارت بالا و هدایت حرارتی عالی است. این پوشش SiC با خلوص بالا عمدتاً در صنایع نیمه هادی و الکترونیک برای محافظت از حامل های ویفر، پایه ها و عناصر گرمایشی در برابر محیط های خورنده و واکنش پذیر استفاده می شود. پوشش SiC همچنین برای کوره های خلاء و گرمایش نمونه در محیط های خلاء بالا، راکتیو و اکسیژن مناسب است.
سطح پوشش SiC با خلوص بالا
فرآیند پوشش SiC چیست؟
یک لایه نازک از کاربید سیلیکون با استفاده از آن بر روی سطح بستر رسوب می کندCVD (رسوب بخار شیمیایی). رسوب گذاری معمولاً در دماهای 1200-1300 درجه سانتیگراد انجام می شود و رفتار انبساط حرارتی مواد بستر باید با پوشش SiC سازگار باشد تا تنش حرارتی به حداقل برسد.
ساختار کریستالی فیلم پوشش CVD SIC
خواص فیزیکی پوشش SiC عمدتاً در مقاومت در برابر دمای بالا، سختی، مقاومت در برابر خوردگی و هدایت حرارتی آن منعکس می شود.
پارامترهای فیزیکی معمولی معمولاً به شرح زیر است:
سختیپوشش SiC معمولاً دارای سختی Vickers در محدوده 2000-2500 HV است که مقاومت بسیار بالایی در برابر سایش و ضربه در کاربردهای صنعتی به آنها می دهد.
تراکم: پوشش های SiC معمولاً دارای چگالی 3.1-3.2 g/cm³ هستند. چگالی بالا به استحکام مکانیکی و دوام پوشش کمک می کند.
هدایت حرارتیپوشش‌های SiC دارای رسانایی حرارتی بالایی هستند، معمولاً در محدوده 120-200 W/mK (در دمای 20 درجه سانتیگراد). این به آن رسانایی حرارتی خوبی در محیط های با دمای بالا می دهد و آن را به ویژه برای تجهیزات عملیات حرارتی در صنعت نیمه هادی مناسب می کند.
نقطه ذوب: کاربید سیلیکون دارای نقطه ذوب تقریباً 2730 درجه سانتیگراد است و پایداری حرارتی عالی در دماهای شدید دارد.
ضریب انبساط حرارتیپوشش‌های SiC دارای ضریب انبساط حرارتی خطی پایینی (CTE) هستند، معمولاً در محدوده 4.0-4.5 µm/mK (در دمای 25-1000 درجه سانتیگراد). این بدان معنی است که پایداری ابعادی آن در برابر اختلاف دماهای زیاد عالی است.
مقاومت در برابر خوردگیپوشش‌های SiC در برابر خوردگی در محیط‌های اسیدی، قلیایی و اکسیدکننده بسیار مقاوم هستند، به‌ویژه هنگام استفاده از اسیدهای قوی (مانند HF یا HCl)، مقاومت آنها در برابر خوردگی بسیار بیشتر از مواد فلزی معمولی است.
پوشش های SiC را می توان برای مواد زیر اعمال کرد:
گرافیت ایزواستاتیک با خلوص بالا (CTE پایین)
تنگستن
مولیبدن
سیلیکون کاربید
نیترید سیلیکون
کامپوزیت های کربن-کربن (CFC)
محصولات با پوشش SiC معمولاً در زمینه های زیر استفاده می شوند:
تولید تراشه LED
تولید پلی سیلیکون
نیمه هادیرشد کریستال
سیلیکون واپیتاکسی SiC
عملیات حرارتی ویفر و اچینگ
چرا انرژی VET را انتخاب کنید؟
VET Energy تولید کننده، مبتکر و رهبر محصولات پوشش SiC در چین است، محصولات اصلی پوشش SiC عبارتند ازحامل ویفر با پوشش SiC، پوشش SiCگیرنده اپیتاکسیال, حلقه گرافیتی با پوشش SiC, قطعات نیمه ماه با پوشش SiC, کامپوزیت کربن-کربن با پوشش SiC, قایق ویفری با روکش SiC, بخاری با روکش SiCو غیره. VET Energy متعهد به ارائه فناوری نهایی و راه حل های محصول به صنعت نیمه هادی است و از خدمات سفارشی سازی پشتیبانی می کند. ما صمیمانه مشتاقانه منتظریم تا شریک طولانی مدت شما در چین باشیم.
اگر سؤالی دارید یا نیاز به جزئیات بیشتری دارید، لطفاً در تماس با ما دریغ نکنید.
Whatsapp & Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
زمان ارسال: اکتبر 18-2024