پایه های معمولی برای اپیتاکسی فاز بخار استفاده می شود

در طی فرآیند اپیتاکسی فاز بخار (VPE)، نقش پایه پشتیبانی از بستر و تضمین گرمایش یکنواخت در طول فرآیند رشد است. انواع مختلف پایه ها برای شرایط مختلف رشد و سیستم های مواد مناسب هستند. در زیر برخی از انواع پایه های متداول مورد استفاده در فاز بخار آورده شده استاپیتاکسی:

پایه بشکه

پایه‌های بشکه معمولاً در سیستم‌های اپیتاکسی فاز بخار افقی یا کج‌شده استفاده می‌شوند. آنها می توانند بستر را نگه دارند و اجازه دهند گاز بر روی بستر جریان یابد، که به رشد یکنواخت همپایی کمک می کند.

پایه دیسکی شکل (پایه عمودی)

پایه های دیسکی شکل برای سیستم های اپیتاکسی فاز بخار عمودی مناسب هستند که در آن بستر به صورت عمودی قرار می گیرد. این طراحی به کاهش سطح تماس بین بستر و گیرنده کمک می کند و در نتیجه از دست دادن گرما و آلودگی احتمالی را کاهش می دهد.

گیرنده افقی

گیرنده های افقی در اپیتاکسی فاز بخار کمتر رایج هستند، اما ممکن است در برخی از سیستم های رشد خاص برای اجازه رشد اپیتاکسیال در جهت افقی استفاده شوند.

گیرنده واکنش اپیتاکسیال یکپارچه

گیرنده واکنش اپیتاکسیال یکپارچه برای یک بستر منفرد طراحی شده است که می تواند کنترل دما دقیق تر و عایق حرارتی بهتر را فراهم کند، مناسب برای رشد لایه های اپیتاکسیال با کیفیت بالا.

برای اطلاعات و مشاوره محصول به وب سایت ما خوش آمدید.

وب سایت ما: https://www.vet-china.com/