صنعت نیمه هادی مورد نیاز مواد گرافیت به خصوص بالا است، اندازه ذرات ریز گرافیت دارای دقت بالا، مقاومت در برابر درجه حرارت بالا، استحکام بالا، تلفات کوچک و مزایای دیگر، مانند: قالب محصولات گرافیت متخلخل است.از آنجایی که تجهیزات گرافیتی مورد استفاده در صنعت نیمه هادی (شامل هیترها و قالب های متخلخل آنها) باید در برابر فرآیندهای گرمایش و سرمایش مکرر مقاومت کنند، به منظور افزایش طول عمر تجهیزات گرافیتی، معمولاً لازم است که مواد گرافیتی مورد استفاده دارای عملکرد پایدار باشند. و عملکرد ضربه مقاوم در برابر حرارت.
01 لوازم جانبی گرافیت برای رشد کریستال نیمه هادی
تمام فرآیندهای مورد استفاده برای رشد کریستال های نیمه هادی در دمای بالا و محیط خورنده عمل می کنند. منطقه گرم کوره رشد کریستال معمولاً مجهز به اجزای گرافیت با خلوص بالا مقاوم در برابر حرارت و مقاوم در برابر خوردگی است، مانند بخاری، بوته، سیلندر عایق، سیلندر راهنما، الکترود، نگهدارنده بوته، مهره الکترود و غیره.
ما می‌توانیم تمام قطعات گرافیتی دستگاه‌های تولید کریستال را تولید کنیم که می‌توان آنها را به صورت جداگانه یا مجموعه‌ای تهیه کرد، یا قطعات گرافیتی سفارشی در اندازه‌های مختلف با توجه به نیاز مشتری. اندازه محصولات را می توان در محل اندازه گیری کرد و میزان خاکستر محصولات نهایی می تواند کمتر باشداز 5ppm
02 لوازم جانبی گرافیت برای اپیتاکسی نیمه هادی
فرآیند اپیتاکسیال به رشد لایه ای از مواد تک کریستالی با آرایش شبکه ای مشابه زیرلایه روی بستر تک کریستالی اشاره دارد. در فرآیند اپیتاکسیال، ویفر بر روی دیسک گرافیت بارگذاری می شود. عملکرد و کیفیت دیسک گرافیتی نقش حیاتی در کیفیت لایه اپیتاکسیال ویفر دارد. در زمینه تولید اپیتاکسیال به مقدار زیادی گرافیت با خلوص فوق العاده بالا و پایه گرافیت با خلوص بالا با پوشش SIC نیاز است.
پایه گرافیتی شرکت ما برای اپیتاکسی نیمه هادی دارای طیف گسترده ای از کاربردها است، می تواند با اکثر تجهیزات رایج در صنعت مطابقت داشته باشد و دارای خلوص بالا، پوشش یکنواخت، عمر مفید عالی و مقاومت شیمیایی و پایداری حرارتی بالا است.
03 لوازم جانبی گرافیت برای کاشت یون
کاشت یون به فرآیند تسریع پرتو پلاسمایی بور، فسفر و آرسنیک به یک انرژی معین و سپس تزریق آن به لایه سطحی ماده ویفر برای تغییر خواص ماده لایه سطحی اشاره دارد. اجزای دستگاه کاشت یون باید از مواد با خلوص بالا با مقاومت حرارتی عالی، هدایت حرارتی، خوردگی کمتر ناشی از پرتو یون و محتوای ناخالصی کم ساخته شود. گرافیت با خلوص بالا الزامات کاربرد را برآورده می کند و می تواند برای لوله پرواز، شکاف های مختلف، الکترودها، پوشش های الکترود، مجراها، پایان دهنده های پرتو و غیره تجهیزات کاشت یون استفاده شود.
ما نه تنها می‌توانیم پوشش محافظ گرافیت را برای ماشین‌های کاشت یون مختلف فراهم کنیم، بلکه الکترودهای گرافیتی با خلوص بالا و منابع یونی با مقاومت در برابر خوردگی بالا با مشخصات مختلف ارائه می‌کنیم. مدل های قابل اجرا: Eaton، Azcelis، Quatum، Varian، Nissin، AMAT، LAM و سایر تجهیزات. علاوه بر این، ما همچنین می توانیم محصولات سرامیکی، تنگستن، مولیبدن، آلومینیوم و قطعات پوشش داده شده را ارائه دهیم.
04 مواد عایق گرافیت و غیره
مواد عایق حرارتی مورد استفاده در تجهیزات تولید نیمه هادی شامل نمد سخت گرافیت، نمد نرم، فویل گرافیت، کاغذ گرافیت و طناب گرافیتی می باشد.
تمام مواد اولیه ما گرافیت وارداتی است که می تواند با توجه به اندازه خاص نیاز مشتری بریده شود یا به طور کلی فروخته شود.
سینی کربن کربن به عنوان حامل برای پوشش فیلم در فرآیند تولید سلول های سیلیکونی تک کریستالی خورشیدی و سلول های سیلیکونی پلی کریستالی استفاده می شود. اصل کار این است: تراشه سیلیکونی را در سینی CFC قرار دهید و آن را به لوله کوره بفرستید تا پوشش فیلم را پردازش کند.
