Substantzia organiko eta ez-organiko batzuk erdieroaleen fabrikazioan parte hartzeko beharrezkoak dira. Gainera, prozesua beti giza parte-hartzearekin gela garbi batean egiten denez, erdieroaleaobleakezinbestean hainbat ezpurutasunek kutsatzen dute.
Kutsatzaileen jatorriaren eta izaeraren arabera, gutxi gorabehera, lau kategoriatan bana daitezke: partikulak, materia organikoa, metal ioiak eta oxidoak.
1. Partikulak:
Partikulak polimero batzuk, fotorresistenteak eta akuaforte ezpurutasunak dira batez ere.
Kutsatzaile horiek normalean molekularteko indarretan oinarritzen dira oblearen gainazalean xurgatzeko, eta gailuaren fotolitografia-prozesuaren irudi geometrikoen eta parametro elektrikoen eraketari eragiten diote.
Kutsatzaile horiek, batez ere, gainazalean duten kontaktu-eremua pixkanaka murriztuz kentzen diraostiametodo fisiko edo kimikoen bidez.
2. Materia organikoa:
Ezpurutasun organikoen iturriak nahiko zabalak dira, hala nola, giza larruazaleko olioa, bakterioak, makina-olioa, hutseko koipea, fotorresistentzia, garbiketa-disolbatzaileak, etab.
Kutsatzaile horiek normalean film organiko bat osatzen dute oblearen gainazalean, garbiketa-likidoa oblearen gainazalera iristea ekiditeko, eta ondorioz oblearen gainazalaren garbiketa osatugabea da.
Kutsatzaile horiek kentzea askotan garbiketa-prozesuaren lehen urratsean egiten da, batez ere metodo kimikoak erabiliz, hala nola azido sulfurikoa eta hidrogeno peroxidoa.
3. Metal ioiak:
Ohiko ezpurutasun metalikoak: burdina, kobrea, aluminioa, kromoa, burdinurtua, titanioa, sodioa, potasioa, litioa, etab. Iturri nagusiak hainbat tresna, hodi, erreaktibo kimiko eta metalen arteko kutsadura dira prozesatzeko garaian metalen arteko konexioak sortzen direnean.
Ezpurutasun mota hau sarritan metodo kimikoen bidez kentzen da ioi metalikoen konplexuen eraketaren bidez.
4. Oxidoa:
Erdieroalea deneanobleakoxigenoa eta ura dituen ingurune baten eraginpean daudenean, oxido-geruza natural bat sortuko da gainazalean. Oxido-film honek erdieroaleen fabrikazioan prozesu asko oztopatuko ditu eta metalezko ezpurutasun batzuk ere edukiko ditu. Baldintza jakin batzuetan, akats elektrikoak sortuko dituzte.
Oxido-film hori kentzea sarritan azido fluorhidriko diluituan beratzen da.
Garbiketa sekuentzia orokorra
Erdieroalearen gainazalean xurgatutako ezpurtasunakobleakhiru motatan bana daiteke: molekularra, ionikoa eta atomikoa.
Horien artean, ezpurutasun molekularren eta oblearen gainazalaren arteko adsortzio-indarra ahula da eta ezpurutasun-partikula mota hau nahiko erraza da kentzen. Ezaugarri hidrofobikoak dituzten ezpurutasun koipetsuak dira gehienbat, eta oble erdieroaleen gainazala kutsatzen duten ezpurutasun ioniko eta atomikoen estaldura eman dezakete, eta hori ez da mesedegarria bi ezpurutasun mota horiek kentzeko. Hori dela eta, erdieroaleak kimikoki garbitzean, ezpurutasun molekularrak kendu behar dira lehenik.
Beraz, erdieroalearen prozedura orokorraostiagarbiketa prozesua hau da:
Desmolekularizazioa-deionizazioa-desatomizazioa-ur deionizatua garbitzea.
Horrez gain, oblearen gainazaleko oxido-geruza naturala kentzeko, aminoazido diluitu bat bustitzeko urratsa gehitu behar da. Hori dela eta, garbiketaren ideia lehenik gainazaleko kutsadura organikoa kentzea da; gero disolbatu oxido-geruza; azkenik, partikulak eta metalen kutsadura kendu, eta gainazala pasibotu aldi berean.
Ohiko garbiketa-metodoak
Metodo kimikoak erabili ohi dira erdieroaleen obleak garbitzeko.
Garbiketa kimikoak erreaktibo kimiko eta disolbatzaile organiko ezberdinak erabiltzeari egiten dio erreferentzia, oblearen gainazalean ezpurutasunak eta olio-orbanak erreakzionatzeko edo disolbatzeko, ezpurutasunak desorbatzeko, eta, ondoren, garbitu garbitasun handiko ur bero eta hotz deionizatu kopuru handi batekin. gainazal garbi bat.
Garbiketa kimikoa garbiketa kimiko hezean eta garbiketa kimiko lehorrean bana daiteke, eta horien artean garbiketa kimiko hezea da oraindik nagusi.
Garbiketa kimiko hezea
1. Garbiketa kimiko hezea:
Garbiketa kimiko hezeak disoluzio murgiltzea, garbiketa mekanikoa, ultrasoinuen garbiketa, garbiketa megasonikoa, ihinztadura birakaria, etab.
2. Soluzio murgiltzea:
Disoluzio murgiltzea gainazaleko kutsadura kentzeko metodo bat da, ostia disoluzio kimiko batean murgilduz. Garbiketa kimiko hezean gehien erabiltzen den metodoa da. Soluzio desberdinak erabil daitezke oblearen gainazaleko kutsatzaile mota desberdinak kentzeko.
Normalean, metodo honek ezin ditu oblearen gainazaleko ezpurutasunak guztiz kendu, beraz, berogailua, ultrasoinuak eta nahastea bezalako neurri fisikoak erabili ohi dira murgiltzean.
3. Garraiketa mekanikoa:
Garrastatze mekanikoa sarritan erabiltzen da oblearen gainazalean dauden partikulak edo hondakin organikoak kentzeko. Oro har, bi metodotan bana daiteke:eskuzko garbiketa eta garbiketa garbigailu baten bidez.
Eskuzko garbiketagarbiketa-metodorik errazena da. Altzairu herdoilgaitzezko eskuila bat etanol anhidroz edo beste disolbatzaile organiko batzuetan bustitako bola bat eusteko eta oblearen gainazala astiro-astiro igurtzi norabide berean argizarizko filma, hautsa, hondar kola edo beste partikula solido batzuk kentzeko. Metodo hau erraza da marradurak eta kutsadura larriak eragitea.
Garbigailuak biraketa mekanikoa erabiltzen du oblearen gainazala artilezko eskuila leun batekin edo eskuila misto batekin igurzteko. Metodo honek oblearen marradurak asko murrizten ditu. Presio handiko garbigailuak ez du oblea urratuko marruskadura mekanikorik eza dela eta, eta zirrikituetako kutsadura kendu dezake.
4. Ultrasoinu garbiketa:
Ultrasoinuen garbiketa erdieroaleen industrian oso erabilia den garbiketa metodo bat da. Bere abantailak garbiketa efektu ona, funtzionamendu sinplea eta gailu eta ontziak konplexuak ere garbi ditzake.
Garbiketa-metodo hau ultrasoinu-uhin indartsuen eraginpean dago (erabiltzen den ultrasoinu-maiztasuna 20s40kHz da), eta zati urriak eta trinkoak medio likidoaren barruan sortuko dira. Zati eskasak ia hutseko barrunbeko burbuila sortuko du. Barrunbeko burbuila desagertzen denean, tokiko presio indartsua sortuko da haren ondoan, molekulen lotura kimikoak hautsiz obleen gainazaleko ezpurutasunak disolbatzeko. Ultrasoinu-garbiketa eraginkorrena da fluxu-hondakin disolbaezinak edo disolbaezinak kentzeko.
5. Garbiketa megasonikoa:
Garbiketa megasonikoak ultrasoinuen garbiketaren abantailak ez ezik, bere gabeziak gainditzen ditu.
Garbiketa megasonikoa obleak garbitzeko metodo bat da, energia handiko (850 kHz) maiztasun bibrazio-efektua garbiketa-agente kimikoen erreakzio kimikoarekin konbinatuz. Garbiketan zehar, soluzio molekulak uhin megasonikoaren bidez bizkortzen dira (berehalako abiadura maximoa 30 cmVs-ra irits daiteke), eta abiadura handiko fluido-uhinak etengabe eragiten du oblearen gainazalean, eta, horrela, kutsatzaile eta partikula finak gainazalean itsatsita. ostia indarrez kendu eta garbiketa-soluzioan sartzen dira. Garbiketa-soluzioari surfaktante azidoak gehitzeak, alde batetik, leuntzeko gainazaleko partikulak eta materia organikoa kentzeko helburua lor dezake, tensioaktiboen xurgapenaren bidez; bestetik, surfaktanteen eta ingurune azidoen integrazioaren bidez, leuntzeko xaflaren gainazaleko metal kutsadura kentzeko helburua lor daiteke. Metodo honek aldi berean garbiketa mekanikoaren eta garbiketa kimikoaren papera bete dezake.
Gaur egun, garbiketa megasonikoa metodo eraginkorra bihurtu da leuntzeko xaflak garbitzeko.
6. Spray metodo birakaria:
Spray birakariaren metodoa oblea abiadura handian biratzeko metodo mekanikoak erabiltzen dituen metodo bat da, eta etengabe ihinztatzen duen likidoa (garbitasun handiko ur deionizatua edo beste garbiketa-likido bat) oblearen gainazalean biraketa-prozesuan zehar ezpurutasunak kentzeko. oblearen gainazala.
Metodo honek oblearen gainazaleko kutsadura erabiltzen du ihinztatutako likidoan disolbatzeko (edo harekin kimikoki erreakzionatzeko disolbatzeko), eta abiadura handiko errotazioaren efektu zentrifugoa erabiltzen du ezpurutasunak dituen likidoa oblearen gainazaletik bereizteko. denboran.
Spray birakarien metodoak garbiketa kimikoaren, fluidoen mekanikaren garbiketaren eta presio handiko garbiketaren abantailak ditu. Aldi berean, metodo hau lehortze prozesuarekin ere konbina daiteke. Ur deionizatuko ihinztadura garbitzeko aldi baten ondoren, ur ihinztadura gelditzen da eta spray gasa erabiltzen da. Aldi berean, biraketa-abiadura handitu daiteke oblearen gainazala azkar deshidratatzeko indar zentrifugoa handitzeko.
7.Garbiketa kimiko lehorra
Garbiketa lehorra irtenbiderik erabiltzen ez duen garbiketa teknologiari dagokio.
Gaur egun erabiltzen diren lehorreko garbiketa teknologien artean honako hauek daude: plasma garbiketa teknologia, gas fasea garbitzeko teknologia, habe garbiketa teknologia, etab.
Lehorreko garbiketaren abantailak prozesu sinpleak dira eta ingurumena kutsatzen ez dutenak, baina kostua handia da eta erabilera-esparrua ez da handia oraingoz.
1. Plasma garbitzeko teknologia:
Plasma garbiketa maiz erabiltzen da photoresist kentzeko prozesuan. Oxigeno kopuru txiki bat sartzen da plasma erreakzio sisteman. Eremu elektriko indartsu baten eraginez, oxigenoak plasma sortzen du, eta horrek azkar oxidatzen du fotorresistentea gas-egoera lurrunkor batean eta ateratzen da.
Garbiketa-teknologia honek funtzionamendu erraza, eraginkortasun handia, gainazal garbia, marradurarik ez izatearen abantailak ditu eta produktuaren kalitatea bermatzeko lagungarria da degumming-prozesuan. Gainera, ez du azidorik, alkalirik eta disolbatzaile organikorik erabiltzen, eta ez dago arazorik, hala nola hondakinak botatzea eta ingurumenaren kutsadura. Horregatik, gero eta gehiago baloratzen du jendeak. Hala ere, ezin ditu karbonoa eta beste metal ez lurrunkorrak edo metal oxidoaren ezpurutasunak kendu.
2. Gas fasea garbitzeko teknologia:
Gas-fasearen garbiketa prozesu likidoan dagokion substantziaren gas-fasearen baliokidea erabiltzen duen garbiketa-metodo bati deritzo oblearen gainazalean kutsatutako substantziarekin elkarreragiteko ezpurutasunak kentzeko helburua lortzeko.
Adibidez, CMOS prozesuan, obleen garbiketak HF gas-fasearen eta ur-lurrunaren arteko elkarrekintza erabiltzen du oxidoak kentzeko. Normalean, ura daukan HF prozesuak partikulak kentzeko prozesu batekin lagunduta egon behar du, eta gas faseko HF garbiketa-teknologia erabiltzeak ez du ondorengo partikulak kentzeko prozesurik behar.
HF uraren prozesuarekin alderatuta abantaila garrantzitsuenak HF kimikoen kontsumoa askoz txikiagoa eta garbiketa eraginkortasun handiagoa dira.
Ongi etorri mundu osoko bezeroei gurekin bisitatzera eztabaida gehiagorako!
https://www.vet-china.com/
https://www.facebook.com/people/Ningbo-Miami-Advanced-Material-Technology-Co-Ltd/100085673110923/
https://www.linkedin.com/company/100890232/admin/page-posts/published/
https://www.youtube.com/@user-oo9nl2qp6j
Argitalpenaren ordua: 2024-abuztuaren 13a