Tentsio handiko, potentzia handiko, maiztasun handiko eta tenperatura altuko ezaugarriak dituzten S1C gailu diskretuetatik ezberdina den, SiC zirkuitu integratuaren ikerketa-helburua batez ere tenperatura altuko zirkuitu digitala lortzea da potentzia adimendunen ICs kontrol-zirkuiturako. Barne-eremu elektrikorako SiC zirkuitu integratua oso baxua denez, mikrotubuluen akatsen eragina asko murriztuko da, hau da SiC anplifikatzaile integratuaren txip monolitikoko lehen pieza egiaztatu zen, benetako produktu bukatua eta errendimenduaren arabera zehaztutakoa askoz handiagoa da. mikrotubuluen akatsak baino, beraz, SiC etekin ereduan eta Si eta CaAs materiala, jakina, desberdina da. Txipa agortze NMOSFET teknologian oinarritzen da. Arrazoi nagusia da alderantzizko kanaleko SiC MOSFETen garraiolarien mugikortasun eraginkorra baxuegia dela. Sic-en gainazaleko mugikortasuna hobetzeko, beharrezkoa da Sic-en oxidazio termikoko prozesua hobetu eta optimizatu.
Purdue Unibertsitateak lan asko egin du SiC zirkuitu integratuetan. 1992an, fabrika arrakastaz garatu zen alderantzizko kanalean oinarritutako 6H-SIC NMOSFET zirkuitu integratu digital monolitikoan oinarrituta. Txipak ditu eta ez atea, edo ez atea, edo atea, kontagailu bitarra eta erdi gehigarri zirkuituetan eta behar bezala funtziona dezake 25 °C eta 300 °C arteko tenperatura tartean. 1995ean, lehen SiC hegazkin MESFET Ics fabrikatu zen banadioaren injekzio isolamendu teknologia erabiliz. Injektatutako banadio kantitatea zehatz kontrolatuz, SiC isolatzailea lor daiteke.
Zirkuitu logiko digitaletan, CMOS zirkuituak NMOS zirkuituak baino erakargarriagoak dira. 1996ko irailean, lehen 6H-SIC CMOS zirkuitu digital integratua fabrikatu zen. Gailuak injektatutako N-ordena eta deposizio-oxido-geruza erabiltzen ditu, baina beste prozesu-arazo batzuen ondorioz, PMOSFET txiparen atalase-tentsioa altuegia da. 1997ko martxoan bigarren belaunaldiko SiC CMOS zirkuitua fabrikatzean. P tranpa eta hazkuntza termikoko oxido geruza injektatzeko teknologia hartzen da. Prozesuaren hobekuntzarekin lortutako PMOSEFTen atalase-tentsioa -4,5V ingurukoa da. Txiparen zirkuitu guztiek ondo funtzionatzen dute giro-tenperaturan 300 °C-ra arte eta elikadura-iturri bakar baten bidez elikatzen dira, 5 eta 15 V bitarteko edozein lekutan egon daitekeena.
Substratuaren obleen kalitatearen hobekuntzarekin, zirkuitu integratu funtzionalagoak eta etekin handiagoak egingo dira. Hala ere, SiC materialaren eta prozesuen arazoak funtsean konpontzen direnean, gailuaren eta paketearen fidagarritasuna tenperatura altuko SiC zirkuitu integratuen errendimenduan eragiten duen faktore nagusia bihurtuko da.
Argitalpenaren ordua: 2022-abuztuaren 23a