Lurrun faseko epitaxia (VPE) prozesuan, idulkiaren eginkizuna substratuari eustea eta hazkuntza prozesuan beroketa uniformea bermatzea da. Idulki mota desberdinak hazteko baldintza eta material sistema desberdinetarako egokiak dira. Honako hauek dira lurrun fasean erabili ohi diren idulki mota batzukepitaxia:
Kupelaren idulkia
Upel-idulkiak lurrun faseko epitaxi-sistem horizontaletan edo okertuetan erabiltzen dira. Substratuari eusten diote eta gasa substratuaren gainean isurtzen utzi, eta horrek hazkunde epitaxial uniformea lortzen laguntzen du.
Disko itxurako idulkia (idulki bertikala)
Disko itxurako idulkiak egokiak dira lurrun-fase bertikaleko epitaxi-sistemetarako, zeinetan substratua bertikalki jartzen baita. Diseinu honek substratuaren eta suszeptorearen arteko kontaktu-eremua murrizten laguntzen du, eta, ondorioz, bero-galera eta kutsadura potentziala murrizten du.
Suszeptore horizontala
Suszeptore horizontalak ez dira hain ohikoak lurrun faseko epitaxian, baina hazkuntza-sistema zehatz batzuetan erabil daitezke hazkuntza epitaxiala norabide horizontalean ahalbidetzeko.
Erreakzio epitaxialen suszeptore monolitikoa
Erreakzio epitaxial monolitikoa substratu bakarrerako diseinatuta dago, tenperatura kontrol zehatzagoa eta isolamendu termiko hobea eskain ditzakeena, kalitate handiko geruza epitaxialak hazteko egokia.
Ongi etorri gure webgunera produktuen informazioa eta kontsultarako.
Gure webgunea: https://www.vet-china.com/
Argitalpenaren ordua: 2024-uzt-30