Sputtering helburuakElektronika eta informazioaren industrietan erabiltzen dira batez ere, hala nola, zirkuitu integratuak, informazioa biltegiratzea, kristal likidoen pantailak, laser memoriak, kontrol elektronikoko gailuak, etab. Beira estalduraren arloan ere erabil daitezke, baita higadura erresistenteetan ere. materialak, tenperatura altuko korrosioarekiko erresistentzia, goi mailako dekorazio produktuak eta beste industria batzuk.
Sputtering film meheko materialak prestatzeko teknika nagusietako bat da.Ioi-iturriek sortutako ioiak erabiltzen ditu hutsean bizkortzeko eta agregatzeko, abiadura handiko energia ioien izpiak sortzeko, gainazal solidoa bonbardatzeko eta ioien eta gainazal solidoko atomoen artean energia zinetikoa trukatzeko. Gainazal solidoaren atomoek solidoa uzten dute eta substratuaren gainazalean metatzen dira. Bonbardatutako solidoa sputtering bidez film meheak metatzeko lehengaia da, hau da, sputtering helburua deritzo. Sputtered film meheko material mota asko erabili dira erdieroaleen zirkuitu integratuetan, grabazio euskarrietan, panel lauko pantailetan eta piezaren gainazaleko estalduretan.
Aplikazio-industria guztien artean, erdieroaleen industriak helburu-sputtering filmetarako kalitate-eskakizun zorrotzenak ditu. Puritate handiko metal-sputtering helburuak obleen fabrikazioan eta ontziratze prozesu aurreratuetan erabiltzen dira batez ere. Txirbilaren fabrikazioa adibidetzat hartuta, siliziozko oblea batetik txip batera 7 ekoizpen prozesu nagusi igaro behar dituela ikus dezakegu, hots, difusioa (Prozesu Termikoa), Fotolitografia (Fotolitografia), Etch (Etch), Ioien inplantazioa (IonImplant), Film meheen hazkuntza (Deposizio dielektrikoa), Leunketa Mekaniko Kimikoa (CMP), Metalizazioa (Metalizazioa) Prozesuak banan-banan dagozkio. Sputtering helburua "metalizazio" prozesuan erabiltzen da. Helburua energia handiko partikulaz bonbardatzen da film meheen deposizio-ekipoak eta, ondoren, funtzio zehatzak dituen metal-geruza bat eratzen da silizio-oblean, hala nola geruza eroalea, hesi-geruza. Itxaron. Erdieroale osoen prozesuak askotarikoak direnez, noizbehinka egoera batzuk behar dira sistema behar bezala existitzen dela egiaztatzeko, beraz, produkzio-fase jakin batzuetan, efektuak baieztatzeko material finko batzuk eskatzen ditugu.
Argitalpenaren ordua: 2022-01-17