LH EnergiaPECVD prozesuko grafito-eramailea kalitate handiko kontsumigarria da PECVD (plasma hobetutako lurrun-deposizio kimikoa) prozesurako egokitutakoa. Grafito-eramaile hau purutasun handiko eta dentsitate handiko grafitozko materialarekin egina dago, tenperatura altuko erresistentzia, korrosioarekiko erresistentzia, dimentsio-egonkortasuna eta beste ezaugarri batzuk dituena, PECVD prozesurako eramaile-plataforma egonkorra eskain dezake, film mehearen uniformetasuna eta lautasuna bermatzeko. deposizio.
PECVD prozesurako grafito-eramaileek ezaugarri hauek dituzte:
▪ Garbitasun handia: ezpurutasun eduki oso baxua, filmaren kutsadura saihestuz eta filmaren kalitatea bermatuz.
▪ Dentsitate handia: dentsitate handia, erresistentzia mekaniko handia, tenperatura eta presio handiko PECVD ingurunea jasateko gai da.
▪ Dimentsio-egonkortasun ona: tenperatura altuetan dimentsio-aldaketa txikia, prozesuaren egonkortasuna bermatuz.
▪ Eroankortasun termiko bikaina: beroa modu eraginkorrean transferitzea obleak gehiegi berotzea saihesteko.
▪ Korrosioarekiko erresistentzia handia: hainbat gas korrosiboren eta plasmaren higadurari aurre egiteko gai da.
▪ Zerbitzu pertsonalizatua: tamaina eta forma ezberdinetako grafito-eramaileak pertsonaliza daitezke bezeroen beharren arabera.
SGLren grafito materiala:
Parametro tipikoa: R6510 | |||
Aurkibidea | Proba estandarra | Balioa | Unitatea |
Aleen batez besteko tamaina | ISO 13320 | 10 | μm |
Solte-dentsitatea | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
Porositate irekia | DIN66133 | 10 | % |
Poroen tamaina ertainekoa | DIN66133 | 1.8 | μm |
Iragazkortasuna | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
Rockwell gogortasuna HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Erresistentzia elektriko espezifikoa | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Flexio-indarra | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Konpresioaren indarra | DIN 51910 | 130 | MPa |
Young-en modulua | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
Hedapen termikoa (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
Eroankortasun termikoa (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Eraginkortasun handiko eguzki-zelulen fabrikaziorako bereziki diseinatuta dago, G12 tamaina handiko obleen prozesatzea onartzen duena. Eramailearen diseinu optimizatuak errendimendua nabarmen handitzen du, etekin-tasa handiagoak eta ekoizpen-kostuak txikiagoak ahalbidetuz.
Elementua | Mota | Zenbaki-ostia eramailea |
PEVCD Grephite itsasontzia - 156 seriea | 156-13 grephite itsasontzia | 144 |
156-19 grefito txalupa | 216 | |
156-21 grephite itsasontzia | 240 | |
156-23 grafitozko itsasontzia | 308 | |
PEVCD Grephite itsasontzia - 125 seriea | 125-15 grefito txalupa | 196 |
125-19 grefito txalupa | 252 | |
125-21 grphite itsasontzia | 280 |