Epitaxial Epi Graphite Barril Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barril Susceptor

Epitaxial Epi Graphite Barril SusceptorBereziki diseinatutako euskarri eta berogailu gailu bat da, Deposizio edo Epitaxia prozesuetan bezalako substratu erdieroaleak eusteko eta berotzeko.

Bere egiturak normalean zilindrikoa edo apur bat upel itxurakoa du, gainazalean obleak jartzeko poltsiko edo plataforma ugari ditu, diseinu sendoa edo hutsa izan daiteke, berokuntza metodoaren arabera.

Barril epitaxialaren suszeptorearen funtzio nagusiak:

-Sustratu euskarria: oblea erdieroale anitz eusten ditu;
-Bero iturria: beroketaren bidez hazteko beharrezkoak diren tenperatura altuak eskaintzen ditu;
-Tenperaturaren uniformetasuna: substratuen beroketa uniformea ​​bermatzen du;
-Birotazioa: normalean hazkuntzan zehar bira egiten du tenperatura eta gas banaketaren uniformetasuna hobetzeko.

Epi grafito upel suszeptorearen funtzionamendu-printzipioa:
- Erreaktore epitaxialean, upel suszeptorea behar den tenperaturara berotzen da (normalean 1000 ℃-1200 ℃ silizio epitaxirako);
-Upel suszeptoreak biratzen du tenperatura banaketa uniformea ​​eta gas-fluxua bermatzeko;
-Erreakzio gasak tenperatura altuetan deskonposatzen dira, geruza epitaxialak sortuz substratuaren gainazalean.

Aplikazioak:
-Batez silizio epitaxial hazkuntzarako erabiltzen da
-GaAs, InP, etab bezalako beste material erdieroale batzuen epitaxirako ere aplikagarria.

VET Energyk purutasun handiko grafitoa erabiltzen du CVD-SiC estaldurarekin egonkortasun kimikoa hobetzeko:

LH Energia Epitaxial Epi Graphite Barrel Susceptor-en abantailak:

-Tenperatura altuko egonkortasuna;
-Uniforme termiko ona;
-Sustratu ugari prozesatu ditzake aldi berean, produkzio-eraginkortasuna hobetuz;
-Kimikoki inertea, purutasun handiko hazkuntza-ingurunea mantenduz.