Mis on sic kate?

Ränikarbiidon räni ja süsinikku sisaldav kõva ühend, mida leidub looduses kui üliharuldast mineraalset moissaniiti. Ränikarbiidi osakesi saab omavahel siduda paagutamise teel, et moodustada väga kõva keraamika, mida kasutatakse laialdaselt suurt vastupidavust nõudvates rakendustes, eriti pooljuhtide töötlemisel.

SiC füüsikaline struktuur

SiC kate on tihe, kulumiskindel ränikarbiidkate, millel on kõrge korrosiooni- ja kuumakindlus ning suurepärane soojusjuhtivus. Seda kõrge puhtusastmega SiC katet kasutatakse peamiselt pooljuhtide ja elektroonikatööstuses, et kaitsta vahvlikandjaid, aluseid ja kütteelemente söövitava ja reaktiivse keskkonna eest. SiC kate sobib ka vaakumahjude ja proovide kuumutamiseks kõrgvaakumis, reaktiivses ja hapnikukeskkonnas.

Kõrge puhtusastmega SiC kattepind

Mis on SiC katmisprotsess?

Aluspinna pinnale kantakse õhuke kiht ränikarbiidi kasutadesCVD (keemiline aurustamine-sadestamine). Sadestamine toimub tavaliselt temperatuuril 1200–1300 °C ja substraadi materjali soojuspaisumine peaks sobima SiC-kattega, et minimeerida termilist pinget.

CVD SIC FILMIKRISTALLI STRUKTUUR

CVD SIC kate KILEKRISTALLI STRUKTUUR

SiC katte füüsikalised omadused kajastuvad peamiselt selle kõrge temperatuuritaluvuses, kõvaduses, korrosioonikindluses ja soojusjuhtivuses.

Tüüpilised füüsikalised parameetrid on tavaliselt järgmised:

Kõvadus: SiC-katte Vickersi kõvadus on tavaliselt vahemikus 2000–2500 HV, mis annab neile tööstuslikes rakendustes äärmiselt kõrge kulumis- ja löögikindluse.

Tihedus: SiC katete tihedus on tavaliselt 3,1–3,2 g/cm³. Suur tihedus aitab kaasa katte mehaanilisele tugevusele ja vastupidavusele.

Soojusjuhtivus: SiC katetel on kõrge soojusjuhtivus, tavaliselt vahemikus 120-200 W/mK (temperatuuril 20°C). See annab sellele hea soojusjuhtivuse kõrge temperatuuriga keskkondades ja muudab selle eriti sobivaks pooljuhtide tööstuse kuumtöötlusseadmete jaoks.

Sulamistemperatuur: ränikarbiidi sulamistemperatuur on ligikaudu 2730 °C ja sellel on suurepärane termiline stabiilsus äärmuslikel temperatuuridel.

Soojuspaisumise koefitsient: SiC katetel on madal lineaarne soojuspaisumistegur (CTE), tavaliselt vahemikus 4,0–4,5 µm/mK (temperatuuril 25–1000 ℃). See tähendab, et selle mõõtmete stabiilsus on suurepärane suurte temperatuuride erinevuste korral.

Korrosioonikindlus: SiC katted on äärmiselt vastupidavad korrosioonile tugevates hapetes, leeliselises ja oksüdeerivas keskkonnas, eriti tugevate hapete (nagu HF või HCl) kasutamisel, nende korrosioonikindlus ületab tunduvalt tavapäraste metallmaterjalide oma.

SiC katteid saab kanda järgmistele materjalidele:

Kõrge puhtusastmega isostaatiline grafiit (madal CTE)
Volfram
Molübdeen
Ränikarbiid
Räninitriid
Süsinik-süsinik komposiidid (CFC)

SiC-kattega tooteid kasutatakse tavaliselt järgmistes valdkondades:

LED-kiibi tootmine
Polüräni tootmine
Pooljuhtkristallide kasv
Räni jaSiC epitaksia
Vahvlite kuumtöötlus ja söövitus

Miks valida VET Energy?

VET Energy on Hiinas juhtiv ränikarbiidi kattetoodete tootja, uuendaja ja liider, peamiste ränikarbiidi kattetoodete hulka kuuluvadSiC kattega vahvlikandja, SiC kaetudepitaksiaalne sustseptor, SiC kaetud grafiitrõngas, Poolkuu osad SiC kattega, SiC kaetud süsinik-süsinik komposiit, SiC-kattega vahvelpaat, SiC-kattega küttekehajne. VET Energy on pühendunud pooljuhtide tööstusele parimate tehnoloogia- ja tootelahenduste pakkumisele ning toetab kohandamisteenuseid. Ootame siiralt, et saame olla teie pikaajaline partner Hiinas.