Eelistatud materjal fotolitograafiamasinate täppisosade jaoks
Pooljuhtide valdkonnasränikarbiidi keraamikamaterjale kasutatakse peamiselt integraallülituste tootmise võtmeseadmetes, nagu ränikarbiidist töölaud, juhtsiinid,helkurid, keraamiline imipadrun, litograafiamasinate käepidemed, lihvkettad, kinnitused jne.
Ränikarbiidist keraamilised osadpooljuht- ja optiliste seadmete jaoks
● Ränikarbiidist keraamiline lihvketas. Kui lihvketas on valmistatud malmist või süsinikterasest, on selle kasutusiga lühike ja soojuspaisumistegur suur. Räniplaatide töötlemisel, eriti kiirel lihvimisel või poleerimisel, raskendab lihvketta kulumine ja termiline deformatsioon räniplaadi tasasuse ja paralleelsuse tagamist. Ränikarbiidkeraamikast valmistatud lihvkettal on kõrge kõvadus ja madal kulumine ning soojuspaisumistegur on põhimõtteliselt sama, mis räniplaatidel, nii et seda saab suurel kiirusel lihvida ja poleerida.
● Ränikarbiidist keraamiline kinnitus. Lisaks tuleb räniplaatide tootmisel läbida kõrgtemperatuuriline kuumtöötlus ja neid transporditakse sageli ränikarbiidist kinnitusvahenditega. Need on kuumakindlad ja mittepurustavad. Teemantilaadset süsinikku (DLC) ja muid katteid saab pinnale kanda, et parandada jõudlust, leevendada vahvlikahjustusi ja vältida saaste levikut.
● Ränikarbiidist töölaud. Võttes näiteks töölaua litograafiamasinas, vastutab töölaud peamiselt särituse liikumise lõpetamise eest, mis nõuab kiiret, suure käiguga, kuue vabadusastmega nanotasandi ülitäpset liikumist. Näiteks litograafiamasina puhul, mille resolutsioon on 100 nm, ülekatte täpsus 33 nm ja joone laius 10 nm, on töölaua positsioneerimise täpsus vajalik 10 nm saavutamiseks, maski-räni vahvli üheaegse sammumise ja skaneerimise kiirus on 150 nm/s. ja vastavalt 120 nm/s ning maski skaneerimise kiirus on ligilähedane 500 nm/s ning töölaual peab olema väga kõrge liikumise täpsus ja stabiilsus.
Töölaua ja mikroliikumise laua skemaatiline diagramm (osaline osa)
● Ränikarbiidist keraamiline kandiline peegel. Oluliste integraallülitusseadmete (nt litograafiamasinad) võtmekomponentidel on keeruline kuju, keerukad mõõtmed ja õõnsad kerged struktuurid, mis muudab selliste ränikarbiidist keraamiliste komponentide valmistamise keeruliseks. Praegu kasutavad peamised rahvusvahelised integraallülituse seadmete tootjad, nagu ASML Hollandis, NIKON ja CANON Jaapanis, ruudukujuliste peeglite, litograafiamasinate põhikomponentide, valmistamiseks ja ränikarbiidi kasutamiseks suurt hulka materjale, nagu mikrokristallklaas ja kordieriit. keraamika, et valmistada ette muid lihtsa kujuga suure jõudlusega konstruktsioonikomponente. Hiina ehitusmaterjalide uurimisinstituudi eksperdid on aga kasutanud patenteeritud ettevalmistustehnoloogiat, et valmistada ette suurte, keeruka kujuga, ülikergete, täielikult suletud ränikarbiidist keraamiliste ruudukujuliste peeglite ja muude struktuursete ja funktsionaalsete optiliste komponentide valmistamist litograafiamasinate jaoks.
Postitusaeg: 10.10.2024