Los requisitos de la industria de semiconductores para los materiales de grafito son particularmente altos, el tamaño de partícula fina del grafito tiene alta precisión, resistencia a altas temperaturas, alta resistencia, pequeñas pérdidas y otras ventajas, tales como: molde de productos de grafito sinterizado.Debido a que los equipos de grafito utilizados en la industria de semiconductores (incluidos los calentadores y sus matrices sinterizadas) deben resistir procesos repetidos de calentamiento y enfriamiento, para extender la vida útil de los equipos de grafito, generalmente se requiere que los materiales de grafito utilizados tengan un rendimiento estable. y función de impacto resistente al calor.
01 Accesorios de grafito para el crecimiento de cristales semiconductores.
Todos los procesos utilizados para hacer crecer cristales semiconductores funcionan a altas temperaturas y en un ambiente corrosivo. La zona caliente del horno de crecimiento de cristales generalmente está equipada con componentes de grafito de alta pureza resistentes al calor y a la corrosión, como calentador, crisol, cilindro de aislamiento, cilindro guía, electrodo, soporte de crisol, tuerca de electrodo, etc.
Podemos fabricar todas las piezas de grafito de los dispositivos de producción de cristal, que pueden suministrarse individualmente o en juegos, o piezas de grafito personalizadas de varios tamaños según los requisitos del cliente. El tamaño de los productos se puede medir en el sitio y el contenido de cenizas de los productos terminados puede ser menor.más de 5 ppm.
02 Accesorios de grafito para epitaxia de semiconductores.
El proceso epitaxial se refiere al crecimiento de una capa de material monocristalino con la misma disposición reticular que el sustrato sobre el sustrato monocristalino. En el proceso epitaxial, la oblea se carga sobre el disco de grafito. El rendimiento y la calidad del disco de grafito desempeñan un papel vital en la calidad de la capa epitaxial de la oblea. En el campo de la producción epitaxial, se necesita una gran cantidad de grafito de pureza ultraalta y base de grafito de alta pureza con revestimiento SIC.
La base de grafito de nuestra empresa para epitaxia de semiconductores tiene una amplia gama de aplicaciones, puede coincidir con la mayoría de los equipos utilizados comúnmente en la industria y tiene alta pureza, recubrimiento uniforme, excelente vida útil y alta resistencia química y estabilidad térmica.
03 Accesorios de grafito para implantación de iones.
La implantación de iones se refiere al proceso de acelerar el haz de plasma de boro, fósforo y arsénico a una cierta energía y luego inyectarlo en la capa superficial del material de la oblea para cambiar las propiedades del material de la capa superficial. Los componentes del dispositivo de implantación de iones estarán fabricados con materiales de alta pureza con excelente resistencia al calor, conductividad térmica, menor corrosión causada por el haz de iones y bajo contenido de impurezas. El grafito de alta pureza cumple con los requisitos de la aplicación y se puede utilizar para el tubo de vuelo, diversas ranuras, electrodos, cubiertas de electrodos, conductos, terminadores de haz, etc. de equipos de implantación de iones.
No solo podemos proporcionar cubiertas protectoras de grafito para diversas máquinas de implantación de iones, sino que también ofrecemos electrodos de grafito de alta pureza y fuentes de iones con alta resistencia a la corrosión de diversas especificaciones. Modelos aplicables: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM y otros equipos. Además, también podemos ofrecer productos de cerámica, tungsteno, molibdeno, aluminio y piezas revestidas.
04 Materiales aislantes de grafito y otros.
Los materiales de aislamiento térmico utilizados en los equipos de producción de semiconductores incluyen fieltro duro de grafito, fieltro blando, láminas de grafito, papel de grafito y cuerda de grafito.
Todas nuestras materias primas son grafito importado, que puede cortarse según el tamaño específico de los requisitos del cliente o venderse en su conjunto.
La bandeja de carbono-carbono se utiliza como soporte para el recubrimiento de película en el proceso de producción de células solares de silicio monocristalino y silicio policristalino. El principio de funcionamiento es: insertar el chip de silicio en la bandeja de CFC y enviarlo al tubo del horno para procesar el recubrimiento de la película.
