Kemia vapordemetado (CVD) rilatas al la procezo de deponado de solida filmo sur la surfaco de silicioolatoper kemia reakcio de gasa miksaĵo. Laŭ la malsamaj reagokondiĉoj (premo, antaŭulo), ĝi povas esti dividita en diversajn ekipaĵmodelojn.
Por kiaj procezoj estas uzataj ĉi tiuj du aparatoj?
PECVD(Plasma Enhanced) ekipaĵo estas la plej multnombra kaj plej ofte uzata, uzata en OX, Nitruro, metala pordego, amorfa karbono, ktp.; LPCVD (Malalta Potenco) estas kutime uzata en Nitruro, poli, TEOS.
Kio estas la principo?
PECVD-procezo kiu perfekte kombinas plasman energion kaj CVD. PECVD-teknologio uzas malalt-temperaturan plasmon por indukti brilan senŝargiĝon ĉe la katodo de la procezĉambro (t.e. provaĵopleto) sub malalta premo. Ĉi tiu brila malŝarĝo aŭ alia hejta aparato povas altigi la temperaturon de la specimeno al antaŭdeterminita nivelo, kaj tiam enkonduki kontrolitan kvanton de proceza gaso. Tiu gaso spertas serion de kemiaj kaj plasmoreagoj, kaj finfine formas solidan filmon sur la surfaco de la provaĵo.
LPCVD - Malaltprema kemia vapordemetado (LPCVD) estas dizajnita por redukti la funkciigan premon de la reakcia gaso en la reaktoro al proksimume 133Pa aŭ malpli.
Kio estas la karakterizaĵoj de ĉiu?
PECVD - Procezo, kiu perfekte kombinas plasman energion kaj CVD: 1) Malalttemperatura operacio (evitante alttemperaturan damaĝon al la ekipaĵo); 2) Rapida kresko de filmo; 3) Ne elektema pri materialoj, BOVO, Nitruro, metala pordego, amorfa karbono ĉiuj povas kreski; 4) Estas surloka monitora sistemo, kiu povas ĝustigi la recepton per jonaj parametroj, gasa flukvanto, temperaturo kaj filmo dikeco.
LPCVD - Maldikaj filmoj deponitaj de LPCVD havos pli bonan paŝan kovradon, bonan komponadon kaj strukturan kontrolon, altan deponan indicon kaj eligon. Krome, LPCVD ne postulas portantan gason, do ĝi multe reduktas la fonton de partikla poluado kaj estas vaste uzata en altvaloraj duonkonduktaĵoj por maldika filmo-demetado.
Bonvenigu iujn ajn klientojn el la tuta mondo por viziti nin por plia diskuto!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Afiŝtempo: Jul-24-2024