Kiam ĝi spermo alkomercaj novaĵoj, kompreni la ellaborecon de semikonduktaĵfabrikado estas neceso. semikonduktaĵoblato estas decida komponento en ĉi tiu industrio, sed ili ofte alfrontas poluadon de diversaj malpuraĵoj. Ĉi tiuj poluaĵoj, inkluzivas atomon, organikan materion, metalan elementjonon kaj oksidon, povas efiki la elpensproceduron.
Partiklojkiel polimero kaj akvaforto malpureco fido sur intermolekula forto adsorbi sur la oblato surfaco, influas aparato fotolitografio.organikaj malpuraĵojkiel homo-haŭta oleo kaj maŝino-oleo formas filmon sur la oblato, malhelpas purigadon.metalaj elemento jonojkiel fero kaj aluminio estas ofte forigitaj tra la formado de metala elemento jono komplekso.Oksidojmalhelpas elpensproceduron kaj estas tipe forigitaj per trempado en diluita fluorida acido.
kemiaj metodojestas ofte uzataj por purigi kaj skui duonkonduktaĵon oblaton. humida kemia purigada tekniko kiel solva subakviĝo kaj mekanika vepro regas. supersona kaj megasona purigadmetodo ofertas efikajn manierojn forigi malpurecon. seka kemia purigado, inkluzivas plasmon kaj gasan fazon teknologion, ankaŭ ludas funkcion en procezoj de purigado de oblatoj de duonkonduktaĵoj.
Afiŝtempo: Oct-29-2024