Rekristaligitasilicikarbido (RSiC) ceramikaĵoestas aalt-efikeca ceramika materialo. Pro ĝia bonega alttemperatura rezisto, oksidiĝa rezisto, koroda rezisto kaj alta malmoleco, ĝi estis vaste uzata en multaj kampoj, kiel semikonduktaĵo-fabrikado, fotovoltaeca industrio, altaj temperaturaj fornoj kaj kemia ekipaĵo. Kun la kreskanta postulo je alt-efikecaj materialoj en moderna industrio, la esplorado kaj evoluo de rekristaligita siliciokarbura ceramikaĵo profundiĝas.
1. Prepara teknologio derekristaligita siliciokarbura ceramiko
La preparado teknologio de rekristaligitasiliciokarbura ceramikoĉefe inkluzivas du metodojn: pulvora sinterizado kaj vapora demetado (CVD). Inter ili, la pulvora sinteriga metodo estas silicio-karbura pulvoro sub alta temperatura medio por ke silicio-karburaj partikloj formu densan strukturon per disvastigo kaj rekristaliĝo inter grajnoj. La vapora demetmetodo estas deponi siliciokarbidon sur la surfaco de la substrato per kemia vaporreakcio ĉe alta temperaturo, tiel formante altpuran siliciokarbidfilmon aŭ strukturajn partojn. Ĉi tiuj du teknologioj havas siajn proprajn avantaĝojn. La metodo de sinterizado de pulvoro taŭgas por grandskala produktado kaj havas malaltan koston, dum la metodo de deponado de vaporo povas provizi pli altan purecon kaj pli densan strukturon, kaj estas vaste uzata en la kampo de duonkonduktaĵoj.
2. Materialaj propraĵoj derekristaligita siliciokarbura ceramiko
La elstara karakterizaĵo de rekristaligita silicio-karbura ceramiko estas ĝia bonega agado en altaj temperaturaj medioj. La fandpunkto de ĉi tiu materialo estas same alta kiel 2700 °C, kaj ĝi havas bonan mekanikan forton ĉe altaj temperaturoj. Krome, rekristaligita siliciokarbido ankaŭ havas bonegan oksidiĝan reziston kaj korodan reziston, kaj povas resti stabila en ekstremaj kemiaj medioj. Sekve, RSiC-ceramikaĵo estis vaste uzata en la kampoj de alt-temperaturaj fornoj, alt-temperaturaj obstinaj materialoj kaj kemia ekipaĵo.
Krome, rekristaligita siliciokarbido havas altan termikan konduktivecon kaj povas efike konduki varmegon, kio igas ĝin havi gravan aplikan valoron enMOCVD-reaktorojkaj varmotraktada ekipaĵo en semikonduktaĵa oblaĵfabrikado. Ĝia alta varmokondukteco kaj termika ŝoko rezisto certigas la fidindan funkciadon de la ekipaĵo sub ekstremaj kondiĉoj.
3. Aplikaj kampoj de rekristaligita silicio-karbura ceramiko
Semikonduktaĵfabrikado: En la semikonduktaĵindustrio, rekristaligita siliciokarbura ceramiko estas uzata por produkti substratojn kaj subtenojn en MOCVD-reaktoroj. Pro ĝia alta temperaturrezisto, koroda rezisto kaj alta termika kondukteco, RSiC-materialoj povas konservi stabilan agadon en kompleksaj kemiaj reakciaj medioj, certigante la kvaliton kaj rendimenton de duonkonduktaĵoj.
Fotovoltaeca industrio: En la fotovoltaeca industrio, RSiC estas uzata por produkti la subtenan strukturon de kristala kreska ekipaĵo. Ĉar kristala kresko devas esti efektivigita ĉe alta temperaturo dum la produktada procezo de fotovoltaikaj ĉeloj, la varmorezisto de rekristaligita siliciokarbido certigas la longtempan stabilan funkciadon de la ekipaĵo.
Alt-temperaturaj fornoj: RSiC-ceramikaĵo ankaŭ estas vaste uzata en alt-temperaturaj fornoj, kiel tegaĵoj kaj komponantoj de malplenaj fornoj, fandaj fornoj kaj aliaj ekipaĵoj. Ĝia termika ŝoko-rezisto kaj oksigenada rezisto faras ĝin unu el la neanstataŭeblaj materialoj en alt-temperaturaj industrioj.
4. Esplora direkto de rekristaligita silicio-karbura ceramiko
Kun la kreskanta postulo je alt-efikecaj materialoj, la esplora direkto de rekristaligita silicio-karbura ceramiko iom post iom evidentiĝis. Estonta esplorado koncentriĝos sur la sekvaj aspektoj:
Plibonigi la purecon de materialo: Por plenumi pli altajn pureco-postulojn en la duonkonduktaĵoj kaj fotovoltaecaj kampoj, esploristoj esploras manierojn plibonigi la purecon de RSiC plibonigante vapordeponan teknologion aŭ enkondukante novajn krudaĵojn, tiel plibonigante ĝian aplikan valoron en ĉi tiuj altteknologiaj kampoj. .
Optimumigo de mikrostrukturo: Kontrolante la sinterkondiĉojn kaj la distribuadon de pulvoraj partikloj, la mikrostrukturo de rekristaligita siliciokarbido povas esti plue optimumigita, tiel plibonigante ĝiajn mekanikajn trajtojn kaj termika ŝokon reziston.
Funkciaj kunmetitaj materialoj: Por adaptiĝi al pli kompleksaj uzmedioj, esploristoj provas kombini RSiC kun aliaj materialoj por evoluigi kunmetitajn materialojn kun multfunkciaj propraĵoj, kiel ekzemple rekristaligitaj siliciokarbid-bazitaj kompozitaj materialoj kun pli alta eluziĝorezisto kaj elektra kondukteco.
5. Konkludo
Kiel alt-efikeca materialo, rekristaligita silicio-karbura ceramikaĵo estis vaste uzata en multaj kampoj pro siaj bonegaj propraĵoj en alta temperaturo, oksidiĝa rezisto kaj koroda rezisto. Estonta esplorado koncentriĝos pri plibonigo de materiala pureco, optimumigado de mikrostrukturo kaj evoluigado de kunmetitaj funkciaj materialoj por renkonti la kreskantajn industriajn bezonojn. Per ĉi tiuj teknologiaj novigoj, rekristaligita siliciokarbura ceramiko estas atendita ludi pli grandan rolon en pli altteknologiaj kampoj.
Afiŝtempo: Oct-24-2024