I. Proceza parametro-esplorado
1. TaCl5-C3H6-H2-Ar sistemo
2. Depona temperaturo:
Laŭ la termodinamika formulo, estas kalkulite ke kiam la temperaturo estas pli granda ol 1273K, la Gibbs-libera energio de la reago estas tre malalta kaj la reago estas relative kompleta. La reagkonstanto KP estas tre granda ĉe 1273K kaj pliiĝas rapide kun temperaturo, kaj la kreskorapideco iom post iom malrapidiĝas ĉe 1773K.
Influo sur la surfaca morfologio de la tegaĵo: Kiam la temperaturo ne taŭgas (tro alta aŭ tro malalta), la surfaco prezentas liberan karbonmorfologion aŭ malfiksajn porojn.
(1) Ĉe altaj temperaturoj, la movrapideco de la aktivaj reakciantaj atomoj aŭ grupoj estas tro rapida, kio kondukos al neegala distribuo dum la amasiĝo de materialoj, kaj la riĉaj kaj malriĉaj areoj ne povas glate transiri, rezultigante porojn.
(2) Estas diferenco inter la piroliza reakcia rapido de alkanoj kaj la redukta reakcio de tantala pentaklorido. La piroliza karbono estas troa kaj ne povas esti kombinita kun tantalo ĝustatempe, rezultigante la surfacon envolvitan per karbono.
Kiam la temperaturo taŭgas, la surfaco de laTaC tegaĵoestas densa.
TaCeroj fandiĝas kaj kuniĝas unu kun la alia, la kristala formo estas kompleta, kaj la grenlimo transiras glate.
3. Hidrogena proporcio:
Krome, ekzistas multaj faktoroj, kiuj influas la tegaĵon:
-Surfaca kvalito de la substrato
-Demeta gaskampo
-La grado de unuformeco de reakcianta gasa miksado
II. Tipaj difektoj detantala karbura tegaĵo
1. Tegaĵo krakado kaj senŝeligado
Lineara termika ekspansiokoeficiento lineara CTE:
2. Analizo de difektoj:
(1) Kaŭzo:
(2) Metodo de karakterizado
① Uzu X-radian difraktan teknologion por mezuri la restan streĉon.
② Uzu la leĝon de Hu Ke por proksimigi la restan streĉon.
(3) Rilataj formuloj
3.Plibonigi la mekanikan kongruon de la tegaĵo kaj la substrato
(1) Surfaca surloka kresko tegaĵo
Termika reakcia deponado kaj disvastigo teknologio TRD
Fandita sala procezo
Simpligu la produktadprocezon
Malaltigi la reakcian temperaturon
Relative pli malalta kosto
Pli ekologie amika
Taŭga por grandskala industria produktado
(2) Komponita transira tegaĵo
Kundepona procezo
CVDprocezo
Multi-komponenta tegaĵo
Kombinante la avantaĝojn de ĉiu komponanto
Flekse alĝustigu la tegaĵon kaj proporcion
4. Termika reakcia deponado kaj disvastigo teknologio TRD
(1) Reagmekanismo
TRD-teknologio ankaŭ estas nomita enkonstruado-procezo, kiu uzas sistemon de boracido-tantala pentoksido-natrio-fluorido-boro-oksido-boro-karbido-sistemo por prepari.tantala karbura tegaĵo.
① Fandita borata acido solvas tantalan pentoksidon;
② Tantala pentoksido estas reduktita al aktivaj tantalaj atomoj kaj disvastiĝas sur la grafita surfaco;
③ Aktivaj tantalaj atomoj estas adsorbitaj sur la grafita surfaco kaj reagas kun karbonatomoj por formiĝitantala karbura tegaĵo.
(2) Reago Ŝlosilo
La speco de karbidtegaĵo devas kontentigi la postulon ke la oksigenadforma libera energio de la elemento formanta la karbidon estas pli alta ol tiu de borooksido.
La Gibbs-libera energio de la karbido estas sufiĉe malalta (alie, boro aŭ borido povas esti formitaj).
Tantala pentoksido estas neŭtrala rusto. En alt-temperatura fandita borakso, ĝi povas reagi kun la forta alkala oksida natria rusto por formi natrian tantalaton, tiel reduktante la komencan reagtemperaturon.
Afiŝtempo: Nov-21-2024