Dum la vapora faza epitaksio (VPE) procezo, la rolo de la piedestalo estas subteni la substraton kaj certigi unuforman varmiĝon dum la kreskoprocezo. Malsamaj tipoj de piedestaloj taŭgas por malsamaj kreskokondiĉoj kaj materialsistemoj. Jen kelkaj el la ofte uzataj piedestalaj tipoj en vapora fazo.epitaksio:
Barela piedestalo
Barelaj piedestaloj estas ofte uzataj en horizontalaj aŭ klinitaj vaporfazaj epitaksiaj sistemoj. Ili povas teni la substraton kaj permesi al la gaso flui super la substrato, kio helpas atingi unuforman epitaksian kreskon.
Diskoforma piedestalo (vertikala piedestalo)
Diskoformaj piedestaloj taŭgas por vertikalaj vaporfazaj epitaksiaj sistemoj, en kiuj la substrato estas metita vertikale. Ĉi tiu dezajno helpas redukti la kontaktareon inter la substrato kaj la susceptoro, tiel reduktante varmoperdon kaj eblan poluadon.
Horizontala susceptoro
Horizontalaj susceptoroj estas malpli oftaj en vaporfaza epitaksio, sed povas esti uzataj en iuj specifaj kreskosistemoj por permesi epitaksian kreskon en horizontala direkto.
Monolita epitaksa reakcia susceptoro
La monolita epitaksia reakcia susceptoro estas desegnita por ununura substrato, kiu povas provizi pli precizan temperaturkontrolon kaj pli bonan termikan izoladon, taŭgan por la kresko de altkvalitaj epitaksiaj tavoloj.
Bonvenon al nia retejo por produktaj informoj kaj konsultado.
Nia retejo: https://www.vet-china.com/
Afiŝtempo: 30-a de Julio, 2024