Dum la vaporfaza epitaksio (VPE) procezo, la rolo de la piedestalo estas subteni la substraton kaj certigi unuforman hejton dum la kreskoprocezo. Malsamaj specoj de piedestaloj taŭgas por malsamaj kreskkondiĉoj kaj materialaj sistemoj. La sekvantaroj estas kelkaj el la ofte uzitaj piedestalspecoj en vaporfazoepitaksio:
Barela piedestalo
Barelpiedestaloj estas ofte uzitaj en horizontalaj aŭ klinitaj vaporfazaj epitaksisistemoj. Ili povas teni la substraton kaj permesi al la gaso flui super la substrato, kio helpas atingi unuforman epitaksian kreskon.
Diskoforma piedestalo (vertikala piedestalo)
Diskoformaj piedestaloj taŭgas por vertikalaj vaporfazaj epitaksiosistemoj, en kiuj la substrato estas metita vertikale. Tiu dezajno helpas redukti la kontaktan areon inter la substrato kaj la susceptor, tiel reduktante varmoperdon kaj eblan poluadon.
Horizontala susceptor
Horizontalaj susceptoroj estas malpli oftaj en vaporfaza epitaksio, sed povas esti uzitaj en kelkaj specifaj kreskosistemoj por permesi epitaksian kreskon en horizontala direkto.
Monolita epitaksa reakcia susceptor
La monolita epitaxial reakcia susceptor estas desegnita por ununura substrato, kiu povas provizi pli precizan temperaturkontrolon kaj pli bonan termikan izolitecon, taŭgan por la kresko de altkvalitaj epitaksiaj tavoloj.
Bonvenon al nia retejo por produktaj informoj kaj konsulto.
Nia retejo: https://www.vet-china.com/
Afiŝtempo: Jul-30-2024