Kiam siliciokarbura kristalo kreskas, la "medio" de la kresko-interfaco inter la aksa centro de la kristalo kaj la rando estas malsama, tiel ke la kristala streso sur la rando pliiĝas, kaj la kristala rando estas facile produkti "ampleksajn difektojn" pro al la influo de la grafita haltringo "karbono", kiel solvi la randproblemon aŭ pliigi la efikan areon de la centro (pli ol 95%) estas grava teknika temo.
Ĉar makro-difektoj kiel "mikrotubetoj" kaj "inkluzivecoj" estas iom post iom kontrolataj de la industrio, defiante al silicikarbidkristaloj "kreski rapide, longaj kaj dikaj, kaj kreski", la randaj "ampleksaj difektoj" estas nenormale elstaraj, kaj kun la pliiĝo en la diametro kaj dikeco de siliciokarburaj kristaloj, la rando "ampleksaj difektoj" multobliĝos per la diametro. kvadrato kaj dikeco.
La uzo de tantala karburo TaC-tegaĵo estas solvi la randproblemon kaj plibonigi la kvaliton de kristala kresko, kiu estas unu el la kernaj teknikaj direktoj de "rapide kreski, kreski dika kaj kreski". Por antaŭenigi la disvolviĝon de industria teknologio kaj solvi la "importan" dependecon de ŝlosilaj materialoj, Hengpu trarompis solvis la teknologion de tegaĵo de tantala karburo (CVD) kaj atingis la internacian altnivelan nivelon.
Tantala carburo TaC tegaĵo, de la perspektivo de realigo ne estas malfacila, kun sinterizado, CVD kaj aliaj metodoj estas facile atingi. Sintering metodo, la uzo de tantala carburo pulvoro aŭ antaŭulo, aldonante aktivajn ingrediencojn (ĝenerale metalo) kaj ligado agento (ĝenerale longa ĉeno polimero), kovrita al la surfaco de la grafita substrato sinterigita ĉe alta temperaturo. Per CVD-metodo, TaCl5+H2+CH4 estis deponita sur la surfaco de grafita matrico je 900-1500℃.
Tamen, la bazaj parametroj kiel kristala orientiĝo de tantala karbura demetado, unuforma filmdikeco, streĉa liberigo inter tegaĵo kaj grafita matrico, surfacaj fendoj ktp., estas ekstreme malfacilaj. Precipe en la sic kristala kresko medio, stabila serva vivo estas la kerna parametro, estas la plej malfacila.
Afiŝtempo: Jul-21-2023