Ŝprucantaj celojestas ĉefe uzataj en la elektronikaj kaj informaj industrioj, kiel integraj cirkvitoj, konservado de informoj, likvaj kristalaj ekranoj, laseraj memoroj, elektronikaj kontrolo-aparatoj, ktp. Ili ankaŭ povas esti uzataj en la kampo de vitra tegaĵo, kaj ankaŭ en eluziĝo imuna. materialoj, alt-temperatura koroda rezisto, altnivelaj ornamaj produktoj kaj aliaj industrioj.
Sputtering estas unu el la ĉefaj teknikoj por prepari maldikfilmajn materialojn.Ĝi uzas jonojn generitajn per jonfontoj por akceli kaj agregi en vakuo por formi altrapidajn energiajn jonradiojn, bombadi la solidan surfacon, kaj interŝanĝi kinetan energion inter jonoj kaj solidsurfacaj atomoj. La atomoj sur la solida surfaco forlasas la solidon kaj estas deponitaj sur la surfaco de la substrato. La bombardita solido estas la krudaĵo por deponado de maldikaj filmoj per ŝprucado, kiu estas nomita ŝpruccelo. Diversaj specoj de ŝprucitaj maldikaj filmmaterialoj estis vaste uzataj en duonkonduktaĵaj integraj cirkvitoj, registraj amaskomunikiloj, plat-panelaj ekranoj kaj laborpecaj surfacaj tegaĵoj.
Inter ĉiuj aplikaj industrioj, la industrio de duonkonduktaĵoj havas la plej rigorajn kvalitajn postulojn por celaj sputteraj filmoj. Altpuraj metalaj sputteraj celoj estas ĉefe uzataj en fabrikado de oblatoj kaj altnivelaj pakaj procezoj. Prenante pecetproduktadon kiel ekzemplon, ni povas vidi, ke de silicioblato ĝis blato, ĝi bezonas trapasi 7 ĉefajn produktadprocezojn, nome disvastigon (Termika Procezo), Foto-litografio (Foto-litografio), Etch (Etch), Ionimplantado (IonImplant), Maldika Filma Kresko (Dielektrika Deponaĵo), Kemia Mekanika Polurado (CMP), Metaligo (Metaligo) La procezoj respondas unu post la alia. La ŝpruccelo estas uzata en la procezo de "metaligo". La celo estas bombardita per alt-energiaj partikloj per maldika filma deponejo kaj tiam metala tavolo kun specifaj funkcioj estas formita sur la silicia oblato, kiel kondukta tavolo, barotavolo. Atendu. Ĉar la procezoj de la tutaj duonkonduktaĵoj estas diversaj, tiam necesas iuj fojaj situacioj por kontroli, ke la sistemo ekzistas ĝuste, do ni postulas iujn specojn de ŝajnmaterialoj en certaj stadioj de produktado por konfirmi la efikojn.
Afiŝtempo: Jan-17-2022