Semikonduktaĵo industrio postuloj de grafito materialo postuloj estas aparte altaj, fajna partiklo grandeco de grafito havas altan precizecon, alta temperatura rezisto, alta forto, malgranda perdo kaj aliaj avantaĝoj, kiel ekzemple: sinterigita grafito produktoj muldilo.Ĉar la grafitaj ekipaĵoj uzataj en la industrio de duonkonduktaĵoj (inkluzive de hejtiloj kaj iliaj sinterigitaj ĵetkuboj) estas postulataj por elteni ripetajn hejtajn kaj malvarmigajn procezojn, por plilongigi la funkcidaŭron de grafitaj ekipaĵoj, oni kutime postulas, ke la grafitaj materialoj uzataj havu stabilan agadon. kaj varmo imuna efiko funkcio.
01 Grafitaj akcesoraĵoj por duonkondukta kristala kresko
Ĉiuj procezoj uzataj por kreskigi duonkonduktajn kristalojn funkcias sub alta temperaturo kaj koroda medio. La varma zono de kristala kreska forno estas kutime ekipita per varmorezistaj kaj korodorezistaj altpuraj grafitaj komponantoj, kiel hejtilo, fandujo, izolaj cilindroj, gvidcilindro, elektrodo, krisolujo, elektrodonukso ktp.
Ni povas fabriki ĉiujn grafitajn partojn de kristalaj produktadaj aparatoj, kiuj povas esti liveritaj individue aŭ en aroj, aŭ personecigitaj grafitaj partoj de diversaj grandecoj laŭ klientpostuloj. La grandeco de produktoj povas esti mezurita surloke, kaj la cindroenhavo de pretaj produktoj povas esti malpliol 5 ppm.
02 Grafitaj akcesoraĵoj por duonkondukta epitaksio
Epitaksia procezo rilatas al la kresko de tavolo de unukristala materialo kun la sama kradaranĝo kiel la substrato sur la unukristala substrato. En la epitaksia procezo, la oblato estas ŝarĝita sur la grafitdisko. La agado kaj kvalito de la grafita disko ludas esencan rolon en la kvalito de la epitaksia tavolo de la oblato. En la kampo de epitaxial produktado necesas multe da ultra-alta pureca grafito kaj alta pureca grafita bazo kun SIC-tegaĵo.
La grafita bazo de nia kompanio por duonkondukta epitaksio havas ampleksan gamon de aplikoj, povas egali la plej multajn el la komune uzataj ekipaĵoj en la industrio, kaj havas altan purecon, unuforman tegaĵon, bonegan funkcidaŭron kaj altan kemian reziston kaj termikan stabilecon.
03 Grafitaj akcesoraĵoj por jon-enplantado
Jon-enplantado rilatas al la procezo de akcelo de la plasmoradio de boro, fosforo kaj arseniko al certa energio, kaj tiam injekti ĝin en la surfacan tavolon de la oblatmaterialo por ŝanĝi la materialajn trajtojn de la surfaca tavolo. La komponantoj de la jona enplanta aparato devas esti faritaj el altpuraj materialoj kun bonega varmorezisto, varmokondukteco, malpli da korodo kaŭzita de jona fasko kaj malalta malpura enhavo. Altpura grafito plenumas la postulojn de aplikaĵo, kaj povas esti uzata por la flugtubo, diversaj fendoj, elektrodoj, elektrodaj kovriloj, tuboj, radio-terminiloj ktp. de jon-enplantadaj ekipaĵoj.
Ni povas ne nur provizi grafitan ŝirman kovrilon por diversaj jon-enplantaj maŝinoj, sed ankaŭ provizi altpurajn grafitajn elektrodojn kaj jonfontojn kun alta koroda rezisto de diversaj specifoj. Uzeblaj modeloj: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM kaj aliaj ekipaĵoj. Krome, ni ankaŭ povas provizi kongruajn ceramikajn, volframojn, molibdenojn, aluminiajn produktojn kaj kovritajn partojn.
04 Grafitaj izolaj materialoj kaj aliaj
Termizolaj materialoj uzataj en semikonduktaĵa produktadekipaĵo inkluzivas grafitan malmolan felton, molan felton, grafitan folion, grafitan paperon kaj grafitan ŝnuron.
Ĉiuj niaj krudaĵoj estas importitaj grafito, kiu povas esti tranĉita laŭ la specifa grandeco de la postuloj de kliento aŭ vendita entute.
La karbo-karbona pleto estas uzata kiel portanto por filma tegaĵo en la produktada procezo de suna monokristala silicio kaj polikristalaj siliciaj ĉeloj. La funkcia principo estas: enmetu la silician blaton en la CFC-pleton kaj sendu ĝin en la fornegan tubon por prilabori la filmkovraĵon.
