Το Dual-Damascene είναι μια τεχνολογία διεργασίας που χρησιμοποιείται για την κατασκευή μεταλλικών διασυνδέσεων σε ολοκληρωμένα κυκλώματα. Είναι μια περαιτέρω εξέλιξη της διαδικασίας της Δαμασκού. Με το σχηματισμό οπών και αυλακώσεων ταυτόχρονα στο ίδιο στάδιο της διαδικασίας και την πλήρωσή τους με μέταλλο, πραγματοποιείται η ολοκληρωμένη κατασκευή μεταλλικών διασυνδέσεων.
Γιατί λέγεται Δαμασκός;
Η πόλη της Δαμασκού είναι η πρωτεύουσα της Συρίας και τα ξίφη της Δαμασκού φημίζονται για την οξύτητα και την εξαίσια υφή τους. Απαιτείται ένα είδος διαδικασίας ένθεσης: πρώτα, το απαιτούμενο σχέδιο είναι χαραγμένο στην επιφάνεια του χάλυβα της Δαμασκού και τα προπαρασκευασμένα υλικά ενσωματώνονται σφιχτά στις χαραγμένες αυλακώσεις. Μετά την ολοκλήρωση της ένθεσης, η επιφάνεια μπορεί να είναι λίγο ανώμαλη. Ο τεχνίτης θα το γυαλίσει προσεκτικά για να εξασφαλίσει τη συνολική ομαλότητα. Και αυτή η διαδικασία είναι το πρωτότυπο της διπλής διαδικασίας της Δαμασκού του τσιπ. Αρχικά, αυλακώσεις ή τρύπες χαράσσονται στο διηλεκτρικό στρώμα και στη συνέχεια γεμίζεται μέταλλο. Μετά το γέμισμα, το περίσσιο μέταλλο θα αφαιρεθεί κατά cm.
Τα κύρια βήματα της διαδικασίας του διπλού δαμασκηνού περιλαμβάνουν:
▪ Εναπόθεση διηλεκτρικού στρώματος:
Εναπόθεση ενός στρώματος διηλεκτρικού υλικού, όπως διοξείδιο του πυριτίου (SiO2), στον ημιαγωγόόστια.
▪ Φωτολιθογραφία για τον καθορισμό του μοτίβου:
Χρησιμοποιήστε φωτολιθογραφία για να καθορίσετε το σχέδιο των οδών και των χαρακωμάτων στο διηλεκτρικό στρώμα.
▪Χαλκογραφία:
Μεταφέρετε το σχέδιο των αυλακώσεων και των χαρακωμάτων στο διηλεκτρικό στρώμα μέσω μιας διαδικασίας ξηρής ή υγρής χάραξης.
▪ Εναπόθεση μετάλλου:
Αποθέστε μέταλλο, όπως χαλκό (Cu) ή αλουμίνιο (Al), σε διόδους και αυλάκια για να σχηματίσετε μεταλλικές διασυνδέσεις.
▪ Χημική μηχανική στίλβωση:
Χημική μηχανική στίλβωση της μεταλλικής επιφάνειας για την αφαίρεση της περίσσειας μετάλλου και την ισοπέδωση της επιφάνειας.
Σε σύγκριση με την παραδοσιακή διαδικασία κατασκευής μεταλλικής διασύνδεσης, η διεργασία dual damascene έχει τα ακόλουθα πλεονεκτήματα:
▪Απλοποιημένα βήματα διαδικασίας:με το σχηματισμό αυλακώσεων και χαρακωμάτων ταυτόχρονα στο ίδιο στάδιο διεργασίας, μειώνονται τα στάδια της διαδικασίας και ο χρόνος κατασκευής.
▪Βελτιωμένη παραγωγική απόδοση:Λόγω της μείωσης των σταδίων της διαδικασίας, η διεργασία διπλού δαμασκηνού μπορεί να βελτιώσει την απόδοση κατασκευής και να μειώσει το κόστος παραγωγής.
▪Βελτιώστε την απόδοση των μεταλλικών διασυνδέσεων:η διεργασία διπλού δαμασκηνού μπορεί να επιτύχει στενότερες μεταλλικές διασυνδέσεις, βελτιώνοντας έτσι την ενοποίηση και την απόδοση των κυκλωμάτων.
▪Μειώστε την παρασιτική χωρητικότητα και αντίσταση:Χρησιμοποιώντας διηλεκτρικά υλικά χαμηλού k και βελτιστοποιώντας τη δομή των μεταλλικών διασυνδέσεων, η παρασιτική χωρητικότητα και η αντίσταση μπορούν να μειωθούν, βελτιώνοντας την ταχύτητα και την απόδοση κατανάλωσης ισχύος των κυκλωμάτων.
Ώρα δημοσίευσης: Νοε-25-2024