Επικάλυψη καρβιδίου του πυριτίου,κοινώς γνωστή ως επίστρωση SiC, αναφέρεται στη διαδικασία εφαρμογής ενός στρώματος καρβιδίου του πυριτίου σε επιφάνειες μέσω μεθόδων όπως η χημική εναπόθεση ατμών (CVD), η φυσική εναπόθεση ατμών (PVD) ή ο θερμικός ψεκασμός. Αυτή η κεραμική επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου ενισχύει τις επιφανειακές ιδιότητες διαφόρων υποστρωμάτων προσδίδοντας εξαιρετική αντοχή στη φθορά, θερμική σταθερότητα και προστασία από τη διάβρωση. Το SiC είναι γνωστό για τις εξαιρετικές φυσικές και χημικές του ιδιότητες, συμπεριλαμβανομένου του υψηλού σημείου τήξης (περίπου 2700℃), της εξαιρετικής σκληρότητας (κλίμακα Mohs 9), της εξαιρετικής αντοχής στη διάβρωση και στην οξείδωση και εξαιρετική απόδοση κατάλυσης.
Βασικά πλεονεκτήματα της επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου σε βιομηχανικές εφαρμογές
Λόγω αυτών των χαρακτηριστικών, η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου χρησιμοποιείται ευρέως σε τομείς όπως η αεροδιαστημική, ο εξοπλισμός όπλων και η επεξεργασία ημιαγωγών. Σε ακραία περιβάλλοντα, ιδιαίτερα εντός του εύρους 1800-2000℃, η επίστρωση SiC παρουσιάζει αξιοσημείωτη θερμική σταθερότητα και αντοχή στην αφαίρεση, καθιστώντας την ιδανική για εφαρμογές σε υψηλές θερμοκρασίες. Ωστόσο, το καρβίδιο του πυριτίου από μόνο του δεν έχει τη δομική ακεραιότητα που απαιτείται για πολλές εφαρμογές, επομένως χρησιμοποιούνται μέθοδοι επίστρωσης για την αξιοποίηση των μοναδικών ιδιοτήτων του χωρίς να διακυβεύεται η αντοχή του συστατικού. Στην κατασκευή ημιαγωγών, τα στοιχεία με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου παρέχουν αξιόπιστη προστασία και σταθερότητα απόδοσης στον εξοπλισμό που χρησιμοποιείται στις διεργασίες MOCVD.
Συνήθεις μέθοδοι για την προετοιμασία επικάλυψης καρβιδίου του πυριτίου
Ⅰ● Επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου από χημική εναπόθεση ατμών (CVD).
Σε αυτή τη μέθοδο, οι επικαλύψεις SiC σχηματίζονται με την τοποθέτηση υποστρωμάτων σε ένα θάλαμο αντίδρασης, όπου το μεθυλοτριχλωροσιλάνιο (MTS) δρα ως πρόδρομος. Κάτω από ελεγχόμενες συνθήκες—συνήθως 950-1300°C και αρνητική πίεση—το MTS υφίσταται αποσύνθεση και το καρβίδιο του πυριτίου εναποτίθεται στην επιφάνεια. Αυτή η διαδικασία επίστρωσης CVD SiC εξασφαλίζει μια πυκνή, ομοιόμορφη επίστρωση με εξαιρετική πρόσφυση, ιδανική για εφαρμογές υψηλής ακρίβειας σε τομείς ημιαγωγών και αεροδιαστημικής.
Ⅱ● Μέθοδος μετατροπής προδρόμου (εμποτισμός και πυρόλυση πολυμερούς – PIP)
Μια άλλη αποτελεσματική προσέγγιση επίστρωσης με ψεκασμό καρβιδίου του πυριτίου είναι η μέθοδος μετατροπής προδρόμου, η οποία περιλαμβάνει τη βύθιση του προκατεργασμένου δείγματος σε ένα διάλυμα πρόδρομου κεραμικού. Μετά την ηλεκτρική σκούπα της δεξαμενής εμποτισμού και την πίεση της επικάλυψης, το δείγμα θερμαίνεται, οδηγώντας σε σχηματισμό επικάλυψης καρβιδίου του πυριτίου κατά την ψύξη. Αυτή η μέθοδος προτιμάται για εξαρτήματα που απαιτούν ομοιόμορφο πάχος επίστρωσης και ενισχυμένη αντοχή στη φθορά.
Φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου
Οι επικαλύψεις καρβιδίου του πυριτίου παρουσιάζουν ιδιότητες που τις καθιστούν ιδανικές για απαιτητικές βιομηχανικές εφαρμογές. Αυτές οι ιδιότητες περιλαμβάνουν:
Θερμική αγωγιμότητα: 120-270 W/m·K
Συντελεστής Θερμικής Διαστολής: 4,3 × 10^(-6)/K (στους 20~800℃)
Ηλεκτρική αντίσταση: 10^5– 10^6Ω·εκ
Σκληρότητα: Κλίμακα Mohs 9
Εφαρμογές Επικάλυψης Καρβιδίου Πυριτίου
Στην κατασκευή ημιαγωγών, η επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου για MOCVD και άλλες διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας προστατεύει τον κρίσιμο εξοπλισμό, όπως αντιδραστήρες και υποδοχείς, προσφέροντας αντοχή και σταθερότητα σε υψηλή θερμοκρασία. Στην αεροδιαστημική και την άμυνα, οι κεραμικές επικαλύψεις καρβιδίου του πυριτίου εφαρμόζονται σε εξαρτήματα που πρέπει να αντέχουν σε κρούσεις υψηλής ταχύτητας και διαβρωτικά περιβάλλοντα. Επιπλέον, το χρώμα ή οι επικαλύψεις καρβιδίου του πυριτίου μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν σε ιατρικές συσκευές που απαιτούν ανθεκτικότητα στις διαδικασίες αποστείρωσης.
Γιατί να επιλέξετε επίστρωση καρβιδίου πυριτίου;
Με αποδεδειγμένο ρεκόρ στην παράταση της διάρκειας ζωής των εξαρτημάτων, οι επικαλύψεις καρβιδίου του πυριτίου παρέχουν απαράμιλλη ανθεκτικότητα και σταθερότητα στη θερμοκρασία, καθιστώντας τις οικονομικά αποδοτικές για μακροχρόνια χρήση. Επιλέγοντας μια επιφάνεια επικαλυμμένη με καρβίδιο του πυριτίου, οι βιομηχανίες επωφελούνται από το μειωμένο κόστος συντήρησης, τη βελτιωμένη αξιοπιστία του εξοπλισμού και τη βελτιωμένη λειτουργική απόδοση.
Γιατί να επιλέξετε το VET ENERGY;
Η VET ENERGY είναι επαγγελματίας κατασκευαστής και εργοστάσιο προϊόντων επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου στην Κίνα. Τα κύρια προϊόντα επίστρωσης SiC περιλαμβάνουν θερμαντήρα κεραμικής επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου,Επικάλυψη καρβιδίου πυριτίου CVD MOCVD Susceptor, Φορέας γραφίτη MOCVD με επίστρωση CVD SiC, Φορείς βάσης γραφίτη με επικάλυψη SiC, Υπόστρωμα γραφίτη επικαλυμμένο με καρβίδιο πυριτίου για ημιαγωγούς,Επικάλυψη SiC/Επιστρωμένο Υπόστρωμα Γραφίτη/Δίσκος για Ημιαγωγούς, CVD SiC με επίστρωση άνθρακα-άνθρακα Σύνθετο καλούπι σκάφους CFC. Η VET ENERGY δεσμεύεται να παρέχει προηγμένες λύσεις τεχνολογίας και προϊόντων για τη βιομηχανία ημιαγωγών. Ελπίζουμε ειλικρινά να γίνουμε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.
Ώρα δημοσίευσης: Σεπ-02-2023