Τι είναι η επίστρωση sic;

Καρβίδιο του πυριτίουείναι μια σκληρή ένωση που περιέχει πυρίτιο και άνθρακα, και βρίσκεται στη φύση ως το εξαιρετικά σπάνιο ορυκτό moissanite. Τα σωματίδια καρβιδίου του πυριτίου μπορούν να συνδεθούν μεταξύ τους με πυροσυσσωμάτωση για να σχηματίσουν πολύ σκληρά κεραμικά, τα οποία χρησιμοποιούνται ευρέως σε εφαρμογές που απαιτούν υψηλή ανθεκτικότητα, ειδικά στην επεξεργασία ημιαγωγών.

Φυσική δομή του SiC

Τι είναι η επίστρωση SiC;

Η επίστρωση SiC είναι μια πυκνή, ανθεκτική στη φθορά επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου με υψηλή αντοχή στη διάβρωση και τη θερμότητα και εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα. Αυτή η επίστρωση SiC υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών και ηλεκτρονικών για την προστασία των φορέων πλακών, των βάσεων και των θερμαντικών στοιχείων από διαβρωτικά και αντιδραστικά περιβάλλοντα. Η επίστρωση SiC είναι επίσης κατάλληλη για κλιβάνους κενού και θέρμανση δειγμάτων σε περιβάλλοντα υψηλού κενού, αντιδραστικών και οξυγόνου.

Επιφάνεια επίστρωσης SiC υψηλής καθαρότητας

Ποια είναι η διαδικασία επίστρωσης SiC;

Ένα λεπτό στρώμα καρβιδίου του πυριτίου εναποτίθεται στην επιφάνεια του υποστρώματος χρησιμοποιώνταςCVD (Chemical Vapor Deposition). Η εναπόθεση πραγματοποιείται συνήθως σε θερμοκρασίες 1200-1300°C και η συμπεριφορά θερμικής διαστολής του υλικού υποστρώματος θα πρέπει να είναι συμβατή με την επίστρωση SiC για την ελαχιστοποίηση της θερμικής καταπόνησης.

CVD SIC FILM ΚΡΥΣΤΑΛΙΚΗ ΔΟΜΗ

CVD SIC Coating FILM ΚΡΥΣΤΑΛΙΚΗ ΔΟΜΗ

Οι φυσικές ιδιότητες της επίστρωσης SiC αντικατοπτρίζονται κυρίως στην αντοχή της σε υψηλή θερμοκρασία, τη σκληρότητα, την αντίσταση στη διάβρωση και τη θερμική αγωγιμότητα.

Οι τυπικές φυσικές παράμετροι είναι συνήθως οι εξής:

Σκληρότητα: Η επίστρωση SiC έχει συνήθως σκληρότητα Vickers στην περιοχή 2000-2500 HV, η οποία τους προσδίδει εξαιρετικά υψηλή αντοχή στη φθορά και στην κρούση σε βιομηχανικές εφαρμογές.

Πυκνότητα: Οι επικαλύψεις SiC έχουν συνήθως πυκνότητα 3,1-3,2 g/cm³. Η υψηλή πυκνότητα συμβάλλει στη μηχανική αντοχή και ανθεκτικότητα της επίστρωσης.

Θερμική αγωγιμότητα: Οι επικαλύψεις SiC έχουν υψηλή θερμική αγωγιμότητα, συνήθως στην περιοχή από 120-200 W/mK (στους 20°C). Αυτό του δίνει καλή θερμική αγωγιμότητα σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και το καθιστά ιδιαίτερα κατάλληλο για εξοπλισμό θερμικής επεξεργασίας στη βιομηχανία ημιαγωγών.

Σημείο τήξης: Το καρβίδιο του πυριτίου έχει σημείο τήξης περίπου 2730°C και έχει εξαιρετική θερμική σταθερότητα σε ακραίες θερμοκρασίες.

Συντελεστής Θερμικής Διαστολής: Οι επικαλύψεις SiC έχουν χαμηλό γραμμικό συντελεστή θερμικής διαστολής (CTE), συνήθως στην περιοχή 4,0-4,5 μm/mK (στο 25-1000℃). Αυτό σημαίνει ότι η σταθερότητα των διαστάσεων του είναι εξαιρετική σε μεγάλες διαφορές θερμοκρασίας.

Αντοχή στη διάβρωση: Οι επικαλύψεις SiC είναι εξαιρετικά ανθεκτικές στη διάβρωση σε περιβάλλοντα ισχυρού οξέος, αλκαλίου και οξείδωσης, ειδικά όταν χρησιμοποιούνται ισχυρά οξέα (όπως HF ή HCl), η αντοχή τους στη διάβρωση υπερβαίνει κατά πολύ αυτή των συμβατικών μεταλλικών υλικών.

Οι επικαλύψεις SiC μπορούν να εφαρμοστούν στα ακόλουθα υλικά:

Ισοστατικός γραφίτης υψηλής καθαρότητας (χαμηλό CTE)
Βολφράμιο
Μολυβδαίνιο
Καρβίδιο του πυριτίου
Νιτρίδιο πυριτίου
Σύνθετα υλικά άνθρακα-άνθρακα (CFC)

Τα προϊόντα με επίστρωση SiC χρησιμοποιούνται συνήθως στους ακόλουθους τομείς:

Παραγωγή τσιπ LED
Παραγωγή πολυπυριτίου
Ημιαγωγόςανάπτυξη κρυστάλλων
Πυρίτιο καιSiC επιταξία
Θερμική επεξεργασία και χάραξη γκοφρέτας

Γιατί να επιλέξετε το VET Energy;

Η VET Energy είναι κορυφαίος κατασκευαστής, καινοτόμος και ηγέτης προϊόντων επίστρωσης SiC στην Κίνα, ενώ τα κύρια προϊόντα επίστρωσης SiC περιλαμβάνουνφορέας γκοφρέτας με επίστρωση SiC, επικαλυμμένο με SiCεπιταξιακός υποδοχέας, Δακτύλιος γραφίτη με επικάλυψη SiC, Εξαρτήματα Half-Moon με επίστρωση SiC, Σύνθετο άνθρακα-άνθρακα επικαλυμμένο με SiC, Σκάφος γκοφρέτας με επίστρωση SiC, Θερμαντήρας με επίστρωση SiCκ.λπ. Η VET Energy έχει δεσμευτεί να παρέχει στη βιομηχανία ημιαγωγών την απόλυτη τεχνολογία και λύσεις προϊόντων και υποστηρίζει υπηρεσίες προσαρμογής. Ανυπομονούμε ειλικρινά να είμαστε ο μακροπρόθεσμος συνεργάτης σας στην Κίνα.