Κατά τη διαδικασία της επιταξίας φάσης ατμού (VPE), ο ρόλος του βάθρου είναι να υποστηρίζει το υπόστρωμα και να εξασφαλίζει ομοιόμορφη θέρμανση κατά τη διαδικασία ανάπτυξης. Διαφορετικοί τύποι βάθρων είναι κατάλληλοι για διαφορετικές συνθήκες ανάπτυξης και συστήματα υλικών. Τα παρακάτω είναι μερικοί από τους συνηθέστερα χρησιμοποιούμενους τύπους βάθρου σε φάση ατμούεπιταξία:
Βάρος βαρελιού
Τα βάθρα βαρελιού χρησιμοποιούνται συνήθως σε οριζόντια ή κεκλιμένα συστήματα επιταξίας φάσης ατμού. Μπορούν να συγκρατήσουν το υπόστρωμα και να επιτρέψουν στο αέριο να ρέει πάνω από το υπόστρωμα, κάτι που βοηθά στην επίτευξη ομοιόμορφης επιταξιακής ανάπτυξης.
Βάθρο σε σχήμα δίσκου (κάθετο βάθρο)
Τα βάθρα σε σχήμα δίσκου είναι κατάλληλα για κατακόρυφα συστήματα επιταξίας ατμιστικής φάσης, στα οποία το υπόστρωμα τοποθετείται κατακόρυφα. Αυτός ο σχεδιασμός βοηθά στη μείωση της επιφάνειας επαφής μεταξύ του υποστρώματος και του υποδοχέα, μειώνοντας έτσι την απώλεια θερμότητας και την πιθανή μόλυνση.
Οριζόντιος υποδοχέας
Οι οριζόντιοι υποδοχείς είναι λιγότερο συνηθισμένοι στην επιταξία σε φάση ατμού, αλλά μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε ορισμένα συγκεκριμένα συστήματα ανάπτυξης για να επιτρέψουν την επιταξιακή ανάπτυξη σε οριζόντια κατεύθυνση.
Μονολιθικός επιταξιακός υποδοχέας αντίδρασης
Ο μονολιθικός υποδοχέας επιταξιακής αντίδρασης έχει σχεδιαστεί για ένα μόνο υπόστρωμα, το οποίο μπορεί να παρέχει ακριβέστερο έλεγχο θερμοκρασίας και καλύτερη θερμική απομόνωση, κατάλληλο για την ανάπτυξη επιταξιακών στρωμάτων υψηλής ποιότητας.
Καλώς ήλθατε στον ιστότοπό μας για πληροφορίες προϊόντων και συμβουλές.
Ο ιστότοπός μας: https://www.vet-china.com/
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-30-2024