Όταν ο κρύσταλλος καρβιδίου του πυριτίου αναπτύσσεται, το «περιβάλλον» της διεπαφής ανάπτυξης μεταξύ του αξονικού κέντρου του κρυστάλλου και της ακμής είναι διαφορετικό, έτσι ώστε η πίεση του κρυστάλλου στην άκρη αυξάνεται και η ακμή του κρυστάλλου είναι εύκολο να δημιουργήσει «συνολικά ελαττώματα» λόγω στην επίδραση του "άνθρακα" του δακτυλίου αναστολής γραφίτη, πώς να λύσετε το πρόβλημα της άκρης ή να αυξήσετε την αποτελεσματική περιοχή του κέντρου (πάνω από 95%) είναι σημαντικό τεχνικό θέμα.
Καθώς τα μακροελαττώματα όπως οι «μικροσωληνίσκοι» και τα «εγκλειστήρια» ελέγχονται σταδιακά από τη βιομηχανία, προκαλώντας τους κρυστάλλους καρβιδίου του πυριτίου να «μεγαλώσουν γρήγορα, μακρύς και παχύς και να μεγαλώσουν», τα «συνολικά ελαττώματα» είναι ασυνήθιστα εμφανή, και με την αύξηση της διαμέτρου και του πάχους των κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου, τα "συνολικά ελαττώματα" της άκρης θα πολλαπλασιαστούν από το τετράγωνο της διαμέτρου και το πάχος.
Η χρήση της επίστρωσης TaC καρβιδίου του τανταλίου είναι να λύσει το πρόβλημα των άκρων και να βελτιώσει την ποιότητα της ανάπτυξης των κρυστάλλων, η οποία είναι μία από τις βασικές τεχνικές κατευθύνσεις της «γρήγορης ανάπτυξης, παχύρρευστης και ανάπτυξης». Προκειμένου να προωθήσει την ανάπτυξη της τεχνολογίας της βιομηχανίας και να λύσει την εξάρτηση από την «εισαγωγή» βασικών υλικών, η Hengpu έλυσε την τεχνολογία επικάλυψης καρβιδίου του τανταλίου (CVD) και έφτασε στο διεθνές προηγμένο επίπεδο.
Η επίστρωση TaC καρβιδίου του τανταλίου, από την άποψη της υλοποίησης δεν είναι δύσκολη, με πυροσυσσωμάτωση, CVD και άλλες μέθοδοι είναι εύκολο να επιτευχθούν. Μέθοδος πυροσυσσωμάτωσης, η χρήση σκόνης ή πρόδρομου καρβιδίου του τανταλίου, προσθήκη δραστικών συστατικών (γενικά μέταλλο) και συνδετικού παράγοντα (γενικά πολυμερές μακράς αλυσίδας), επικαλυμμένο στην επιφάνεια του υποστρώματος γραφίτη που συντήκεται σε υψηλή θερμοκρασία. Με τη μέθοδο CVD, TaCl5+H2+CH4 εναποτέθηκε στην επιφάνεια της μήτρας γραφίτη στους 900-1500℃.
Ωστόσο, οι βασικές παράμετροι όπως ο προσανατολισμός των κρυστάλλων της εναπόθεσης καρβιδίου του τανταλίου, το ομοιόμορφο πάχος του φιλμ, η απελευθέρωση τάσης μεταξύ της επικάλυψης και της μήτρας γραφίτη, οι επιφανειακές ρωγμές κ.λπ., είναι εξαιρετικά προκλητικές. Ειδικά στο περιβάλλον ανάπτυξης κρυστάλλων sic, μια σταθερή διάρκεια ζωής είναι η βασική παράμετρος, είναι η πιο δύσκολη.
Ώρα ανάρτησης: 21 Ιουλίου 2023