Το προτιμώμενο υλικό για εξαρτήματα ακριβείας μηχανών φωτολιθογραφίας
Στον τομέα των ημιαγωγών,κεραμικό καρβίδιο του πυριτίουΤα υλικά χρησιμοποιούνται κυρίως σε βασικό εξοπλισμό για την κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, όπως τραπέζι εργασίας καρβιδίου του πυριτίου, ράγες οδηγών,ανακλαστήρες, κεραμικό τσοκ αναρρόφησης, βραχίονες, δίσκοι λείανσης, εξαρτήματα κ.λπ. για μηχανές λιθογραφίας.
Κεραμικά μέρη καρβιδίου του πυριτίουγια ημιαγωγούς και οπτικό εξοπλισμό
● Κεραμικός δίσκος λείανσης καρβιδίου του πυριτίου. Εάν ο δίσκος λείανσης είναι κατασκευασμένος από χυτοσίδηρο ή ανθρακούχο χάλυβα, η διάρκεια ζωής του είναι μικρή και ο συντελεστής θερμικής διαστολής του μεγάλος. Κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας πλακών πυριτίου, ειδικά κατά τη διάρκεια λείανσης ή στίλβωσης υψηλής ταχύτητας, η φθορά και η θερμική παραμόρφωση του δίσκου λείανσης καθιστούν δύσκολη τη διασφάλιση της επιπεδότητας και παραλληλισμού της πλακέτας πυριτίου. Ο δίσκος λείανσης από κεραμικά καρβιδίου του πυριτίου έχει υψηλή σκληρότητα και χαμηλή φθορά και ο συντελεστής θερμικής διαστολής είναι βασικά ο ίδιος με εκείνον των πλακών πυριτίου, ώστε να μπορεί να αλεσθεί και να γυαλιστεί με υψηλή ταχύτητα.
● Κεραμικό εξάρτημα καρβιδίου πυριτίου. Επιπλέον, όταν παράγονται γκοφρέτες πυριτίου, πρέπει να υποβληθούν σε θερμική επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία και συχνά μεταφέρονται χρησιμοποιώντας εξαρτήματα καρβιδίου του πυριτίου. Είναι ανθεκτικά στη θερμότητα και μη καταστροφικά. Ο άνθρακας που μοιάζει με διαμάντι (DLC) και άλλες επικαλύψεις μπορούν να εφαρμοστούν στην επιφάνεια για να βελτιώσουν την απόδοση, να ανακουφίσουν τη ζημιά των πλακιδίων και να αποτρέψουν την εξάπλωση της μόλυνσης.
● Τραπέζι εργασίας καρβιδίου του πυριτίου. Λαμβάνοντας ως παράδειγμα το τραπέζι εργασίας στο μηχάνημα λιθογραφίας, το τραπέζι εργασίας είναι κυρίως υπεύθυνο για την ολοκλήρωση της κίνησης έκθεσης, απαιτώντας υψηλής ταχύτητας, μεγάλης διαδρομής, έξι βαθμών ελευθερίας νανο-επιπέδου εξαιρετικά ακριβείας κίνησης. Για παράδειγμα, για μια μηχανή λιθογραφίας με ανάλυση 100 nm, ακρίβεια επικάλυψης 33 nm και πλάτος γραμμής 10 nm, η ακρίβεια τοποθέτησης του τραπεζιού εργασίας απαιτείται να φτάσει τα 10 nm, οι ταχύτητες ταυτόχρονης βηματοδότησης και σάρωσης μάσκας-γκοφρέτας πυριτίου είναι 150 nm/s και 120nm/s αντίστοιχα, και η ταχύτητα σάρωσης της μάσκας είναι κοντά στα 500nm/s και το τραπέζι εργασίας απαιτείται να έχει πολύ υψηλή ακρίβεια κίνησης και σταθερότητα.
Σχηματικό διάγραμμα του τραπεζιού εργασίας και του τραπεζιού μικροκίνησης (μερική τομή)
● Καρβίδιο πυριτίου κεραμικός τετράγωνος καθρέφτης. Τα βασικά εξαρτήματα σε βασικό εξοπλισμό ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, όπως οι μηχανές λιθογραφίας, έχουν πολύπλοκα σχήματα, πολύπλοκες διαστάσεις και κοίλες ελαφριές δομές, γεγονός που καθιστά δύσκολη την προετοιμασία τέτοιων κεραμικών εξαρτημάτων καρβιδίου του πυριτίου. Επί του παρόντος, οι κύριοι διεθνείς κατασκευαστές εξοπλισμού ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, όπως η ASML στην Ολλανδία, η NIKON και η CANON στην Ιαπωνία, χρησιμοποιούν μεγάλη ποσότητα υλικών όπως μικροκρυσταλλικό γυαλί και κορδιερίτη για την προετοιμασία τετράγωνων κατόπτρων, τα βασικά συστατικά των μηχανών λιθογραφίας και τη χρήση καρβιδίου του πυριτίου. κεραμικά για την προετοιμασία άλλων δομικών στοιχείων υψηλής απόδοσης με απλά σχήματα. Ωστόσο, ειδικοί από το Ινστιτούτο Έρευνας Δομικών Υλικών της Κίνας έχουν χρησιμοποιήσει αποκλειστική τεχνολογία προετοιμασίας για να επιτύχουν την προετοιμασία μεγάλου μεγέθους, πολύπλοκου σχήματος, εξαιρετικά ελαφριού, πλήρως κλειστού κεραμικού τετράγωνου καρβιδίου του πυριτίου και άλλων δομικών και λειτουργικών οπτικών εξαρτημάτων για μηχανές λιθογραφίας.
Ώρα δημοσίευσης: Οκτ-10-2024