Η βάση λείανσης με επικάλυψη SIC έχει τα χαρακτηριστικά αντοχής σε υψηλή θερμοκρασία, αντοχής στην οξείδωση, υψηλής καθαρότητας, οξέων, αλκαλίων, αλάτων και οργανικών αντιδραστηρίων και σταθερής φυσικής και χημικής λειτουργίας. Σε σύγκριση με τον γραφίτη υψηλής καθαρότητας, ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας στους 400℃ αρχίζει έντονη οξείδωση, ακόμη και αν η θερμοκρασία δεν είναι υψηλή, η μακροχρόνια εφαρμογή θα οφείλεται σε οξείδωση και σκόνη, στηριζόμενο στο τεμάχιο εργασίας και στο τραπέζι ή στη ρύπανση της χρήσης του περιβάλλοντος , έτσι ώστε η βάση γραφίτη επίστρωσης SIC ως νέος εξοπλισμός MOCVD, η διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης σκόνης αντικαθιστά σταδιακά τον γραφίτη υψηλής καθαρότητας.
Κύρια χαρακτηριστικά:
1. Αντιοξειδωτικό υψηλής θερμοκρασίας: αντιοξειδωτικό, η αντιοξειδωτική λειτουργία είναι ακόμα πολύ καλή όταν η θερμοκρασία είναι τόσο υψηλή όσο 1600℃.
2. Υψηλή καθαρότητα: λαμβάνεται με τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμών υπό συνθήκες χλωρίωσης υψηλής θερμοκρασίας.
3. Αντοχή στη διάβρωση: υψηλή σκληρότητα, πυκνή επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
Αντοχή στη διάβρωση: οξέα, αλκάλια, άλατα και οργανικά αντιδραστήρια.
5. Το επιφανειακό στρώμα SIC είναι β-καρβίδιο του πυριτίου, ένα κυβικό με επίκεντρο το πρόσωπο.
Ώρα δημοσίευσης: Φεβ-20-2023