Σκόπευση στόχωνχρησιμοποιούνται κυρίως στη βιομηχανία ηλεκτρονικών και πληροφοριών, όπως ολοκληρωμένα κυκλώματα, αποθήκευση πληροφοριών, οθόνες υγρών κρυστάλλων, μνήμες λέιζερ, ηλεκτρονικές συσκευές ελέγχου κ.λπ. Μπορούν επίσης να χρησιμοποιηθούν στον τομέα της επικάλυψης γυαλιού, καθώς και σε ανθεκτικά στη φθορά υλικά, αντοχή στη διάβρωση σε υψηλή θερμοκρασία, διακοσμητικά προϊόντα υψηλής ποιότητας και άλλες βιομηχανίες.
Το Sputtering είναι μια από τις κύριες τεχνικές για την παρασκευή υλικών λεπτής μεμβράνης.Χρησιμοποιεί ιόντα που παράγονται από πηγές ιόντων για να επιταχύνει και να συσσωματωθεί στο κενό για να σχηματίσει δέσμες ιόντων ενέργειας υψηλής ταχύτητας, να βομβαρδίσει τη στερεά επιφάνεια και να ανταλλάξει κινητική ενέργεια μεταξύ ιόντων και ατόμων στερεής επιφάνειας. Τα άτομα στη στερεά επιφάνεια αφήνουν το στερεό και εναποτίθενται στην επιφάνεια του υποστρώματος. Το βομβαρδισμένο στερεό είναι η πρώτη ύλη για την εναπόθεση λεπτών μεμβρανών με ψεκασμό, η οποία ονομάζεται στόχος εκτόξευσης. Διάφοροι τύποι υλικών λεπτής μεμβράνης έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως σε ολοκληρωμένα κυκλώματα ημιαγωγών, μέσα εγγραφής, οθόνες επίπεδων οθονών και επικαλύψεις επιφανειών τεμαχίου εργασίας.
Μεταξύ όλων των βιομηχανιών εφαρμογών, η βιομηχανία ημιαγωγών έχει τις πιο αυστηρές απαιτήσεις ποιότητας για φιλμ στοχευόμενης διασκορπισμού. Οι στόχοι διασκορπισμού μετάλλων υψηλής καθαρότητας χρησιμοποιούνται κυρίως στην κατασκευή γκοφρετών και στις προηγμένες διαδικασίες συσκευασίας. Λαμβάνοντας ως παράδειγμα την κατασκευή τσιπ, μπορούμε να δούμε ότι από μια γκοφρέτα πυριτίου σε ένα τσιπ, πρέπει να περάσει από 7 κύριες διαδικασίες παραγωγής, δηλαδή διάχυση (Θερμική διαδικασία), Φωτολιθογραφία (Φωτολιθογραφία), Χαλκογραφία (Etch), Εμφύτευση ιόντων (IonImplant), Ανάπτυξη λεπτού φιλμ (διηλεκτρική εναπόθεση), χημική μηχανική στίλβωση (CMP), μεταλλοποίηση (Μεταλλοποίηση) Οι διεργασίες αντιστοιχούν μία προς μία. Ο στόχος εκτόξευσης χρησιμοποιείται στη διαδικασία της "μεταλλοποίησης". Ο στόχος βομβαρδίζεται με σωματίδια υψηλής ενέργειας από εξοπλισμό εναπόθεσης λεπτής μεμβράνης και στη συνέχεια σχηματίζεται ένα μεταλλικό στρώμα με συγκεκριμένες λειτουργίες στη γκοφρέτα πυριτίου, όπως αγώγιμο στρώμα, στρώμα φραγμού. Περιμένετε. Εφόσον οι διαδικασίες όλων των ημιαγωγών ποικίλλουν, απαιτούνται κάποιες περιστασιακές καταστάσεις για την επαλήθευση της σωστής ύπαρξης του συστήματος, επομένως απαιτούμε ορισμένα είδη εικονικών υλικών σε ορισμένα στάδια παραγωγής για να επιβεβαιώσουμε τα αποτελέσματα.
Ώρα δημοσίευσης: Ιαν-17-2022