Οι απαιτήσεις της βιομηχανίας ημιαγωγών για τις απαιτήσεις υλικού γραφίτη είναι ιδιαίτερα υψηλές, το μέγεθος λεπτού σωματιδίου του γραφίτη έχει υψηλή ακρίβεια, αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία, υψηλή αντοχή, μικρή απώλεια και άλλα πλεονεκτήματα, όπως: μούχλα προϊόντων πυροσυσσωματωμένου γραφίτη.Επειδή ο εξοπλισμός γραφίτη που χρησιμοποιείται στη βιομηχανία ημιαγωγών (συμπεριλαμβανομένων των θερμαντήρων και των πυροσυσσωματωμένων μητρών τους) απαιτείται να αντέχει σε επαναλαμβανόμενες διαδικασίες θέρμανσης και ψύξης, προκειμένου να παραταθεί η διάρκεια ζωής του εξοπλισμού γραφίτη, συνήθως απαιτείται τα χρησιμοποιούμενα υλικά γραφίτη να έχουν σταθερή απόδοση και ανθεκτική στη θερμότητα λειτουργία κρούσης.
01 Εξαρτήματα γραφίτη για ανάπτυξη κρυστάλλων ημιαγωγών
Όλες οι διεργασίες που χρησιμοποιούνται για την ανάπτυξη κρυστάλλων ημιαγωγών λειτουργούν σε υψηλή θερμοκρασία και διαβρωτικό περιβάλλον. Η θερμή ζώνη του κλιβάνου ανάπτυξης κρυστάλλων είναι συνήθως εξοπλισμένη με ανθεκτικά στη θερμότητα και αντοχή στη διάβρωση εξαρτήματα γραφίτη υψηλής καθαρότητας, όπως θερμαντήρας, χωνευτήριο, κύλινδρος μόνωσης, κύλινδρος-οδηγός, ηλεκτρόδιο, θήκη χωνευτηρίου, παξιμάδι ηλεκτροδίου κ.λπ.
Μπορούμε να κατασκευάσουμε όλα τα μέρη γραφίτη συσκευών παραγωγής κρυστάλλων, τα οποία μπορούν να παρέχονται μεμονωμένα ή σε σετ, ή προσαρμοσμένα μέρη γραφίτη διαφόρων μεγεθών σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη. Το μέγεθος των προϊόντων μπορεί να μετρηθεί επί τόπου και η περιεκτικότητα σε τέφρα των τελικών προϊόντων μπορεί να είναι μικρότερηαπό 5 ppm.
02 Αξεσουάρ γραφίτη για επιταξία ημιαγωγών
Η επιταξιακή διαδικασία αναφέρεται στην ανάπτυξη ενός στρώματος μονοκρυσταλλικού υλικού με την ίδια διάταξη πλέγματος όπως το υπόστρωμα στο μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα. Στην επιταξιακή διαδικασία, η γκοφρέτα φορτώνεται στον δίσκο γραφίτη. Η απόδοση και η ποιότητα του δίσκου γραφίτη παίζουν ζωτικό ρόλο στην ποιότητα του επιταξιακού στρώματος της γκοφρέτας. Στον τομέα της επιταξιακής παραγωγής, απαιτείται πολύς γραφίτης εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και βάση γραφίτη υψηλής καθαρότητας με επίστρωση SIC.
Η βάση γραφίτη της εταιρείας μας για ημιαγωγική επιταξία έχει ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, μπορεί να ταιριάξει με τον περισσότερο εξοπλισμό που χρησιμοποιείται συνήθως στη βιομηχανία και έχει υψηλή καθαρότητα, ομοιόμορφη επίστρωση, εξαιρετική διάρκεια ζωής και υψηλή χημική αντοχή και θερμική σταθερότητα.
03 Εξαρτήματα γραφίτη για εμφύτευση ιόντων
Η εμφύτευση ιόντων αναφέρεται στη διαδικασία επιτάχυνσης της δέσμης πλάσματος βορίου, φωσφόρου και αρσενικού σε μια ορισμένη ενέργεια, και στη συνέχεια έγχυσής της στο επιφανειακό στρώμα του υλικού γκοφρέτας για αλλαγή των ιδιοτήτων υλικού του επιφανειακού στρώματος. Τα εξαρτήματα της συσκευής εμφύτευσης ιόντων θα είναι κατασκευασμένα από υλικά υψηλής καθαρότητας με εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, θερμική αγωγιμότητα, λιγότερη διάβρωση που προκαλείται από δέσμη ιόντων και χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες. Ο γραφίτης υψηλής καθαρότητας πληροί τις απαιτήσεις εφαρμογής και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τον σωλήνα πτήσης, διάφορες σχισμές, ηλεκτρόδια, καλύμματα ηλεκτροδίων, αγωγούς, τερματιστές δέσμης κ.λπ. εξοπλισμού εμφύτευσης ιόντων.
Μπορούμε όχι μόνο να παρέχουμε κάλυμμα θωράκισης γραφίτη για διάφορες μηχανές εμφύτευσης ιόντων, αλλά και να παρέχουμε ηλεκτρόδια γραφίτη υψηλής καθαρότητας και πηγές ιόντων με υψηλή αντοχή στη διάβρωση διαφόρων προδιαγραφών. Εφαρμόσιμα μοντέλα: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM και άλλος εξοπλισμός. Επιπλέον, μπορούμε επίσης να παρέχουμε ταιριαστά προϊόντα κεραμικών, βολφραμίου, μολυβδαινίου, αλουμινίου και επικαλυμμένα εξαρτήματα.
04 Μονωτικά υλικά γραφίτη και άλλα
Τα θερμομονωτικά υλικά που χρησιμοποιούνται στον εξοπλισμό παραγωγής ημιαγωγών περιλαμβάνουν σκληρό πίλημα γραφίτη, μαλακό πίλημα, φύλλο γραφίτη, χαρτί γραφίτη και σχοινί γραφίτη.
Όλες οι πρώτες ύλες μας είναι εισαγόμενος γραφίτης, ο οποίος μπορεί να κοπεί σύμφωνα με το συγκεκριμένο μέγεθος των απαιτήσεων του πελάτη ή να πωληθεί συνολικά.
Ο δίσκος άνθρακα-άνθρακα χρησιμοποιείται ως φορέας για επίστρωση μεμβράνης στη διαδικασία παραγωγής ηλιακών κυψελών μονοκρυσταλλικού πυριτίου και πολυκρυσταλλικού πυριτίου. Η αρχή λειτουργίας είναι: εισάγετε το τσιπ πυριτίου στο δίσκο CFC και στείλτε το στο σωλήνα του κλιβάνου για να επεξεργαστείτε την επίστρωση μεμβράνης.
