Kemisk dampaflejring (CVD) refererer til processen med at afsætte en fast film på overfladen af et siliciumoblatgennem en kemisk reaktion af en gasblanding. I henhold til de forskellige reaktionsbetingelser (tryk, prækursor) kan den opdeles i forskellige udstyrsmodeller.
Hvilke processer bruges disse to enheder til?
PECVD(Plasma Enhanced) udstyr er det mest talrige og mest almindeligt anvendte, brugt i OX, nitrid, metal gate, amorft kulstof osv.; LPCVD (Low Power) bruges normalt i Nitride, poly, TEOS.
Hvad er princippet?
PECVD-en proces, der perfekt kombinerer plasmaenergi og CVD. PECVD-teknologi bruger lavtemperaturplasma til at inducere glødudladning ved katoden af proceskammeret (dvs. prøvebakken) under lavt tryk. Denne glødeudladning eller anden opvarmningsanordning kan hæve temperaturen af prøven til et forudbestemt niveau og derefter indføre en kontrolleret mængde procesgas. Denne gas gennemgår en række kemiske reaktioner og plasmareaktioner og danner til sidst en fast film på overfladen af prøven.
LPCVD - Kemisk lavtryksdampaflejring (LPCVD) er designet til at reducere driftstrykket af reaktionsgassen i reaktoren til omkring 133 Pa eller mindre.
Hvad er kendetegnene for hver?
PECVD - En proces, der perfekt kombinerer plasmaenergi og CVD: 1) Lavtemperaturdrift (undgå højtemperaturskader på udstyret); 2) Hurtig filmvækst; 3) Ikke kræsen for materialer, OX, nitrid, metal gate, amorft kulstof kan alle vokse; 4) Der er et in-situ overvågningssystem, som kan justere recepten gennem ionparametre, gasflowhastighed, temperatur og filmtykkelse.
LPCVD - Tynde film aflejret af LPCVD vil have bedre trindækning, god sammensætning og strukturkontrol, høj aflejringshastighed og output. Derudover kræver LPCVD ikke bæregas, så det reducerer i høj grad kilden til partikelforurening og bruges i vid udstrækning i halvlederindustrier med høj værditilvækst til tyndfilmaflejring.
Velkommen kunder fra hele verden til at besøge os for en yderligere diskussion!
https://www.vet-china.com/
https://www.vet-china.com/cvd-coating/
https://www.vet-china.com/silicon-carbide-sic-ceramic/
Indlægstid: 24-jul-2024