Siliciumcarbid belægning,almindeligvis kendt som SiC-belægning, refererer til processen med at påføre et lag siliciumcarbid på overflader gennem metoder som kemisk dampaflejring (CVD), fysisk dampaflejring (PVD) eller termisk sprøjtning. Denne keramiske belægning af siliciumcarbid forbedrer overfladeegenskaberne af forskellige substrater ved at bibringe enestående slidstyrke, termisk stabilitet og korrosionsbeskyttelse. SiC er kendt for sine enestående fysiske og kemiske egenskaber, herunder et højt smeltepunkt (ca. 2700 ℃), ekstrem hårdhed (Mohs skala 9), fremragende korrosions- og oxidationsbestandighed og enestående ablationsydelse.
Vigtigste fordele ved siliciumcarbidbelægning i industrielle applikationer
På grund af disse egenskaber bruges siliciumcarbidbelægning i vid udstrækning inden for områder som rumfart, våbenudstyr og halvlederbehandling. I ekstreme miljøer, især inden for intervallet 1800-2000 ℃, udviser SiC-belægning bemærkelsesværdig termisk stabilitet og ablativ modstand, hvilket gør den ideel til højtemperaturapplikationer. Siliciumcarbid alene mangler imidlertid den strukturelle integritet, der er nødvendig til mange anvendelser, så belægningsmetoder anvendes til at udnytte dets unikke egenskaber uden at gå på kompromis med komponentstyrken. I halvlederfremstilling giver siliciumcarbid-coatede elementer pålidelig beskyttelse og ydeevnestabilitet i udstyr, der anvendes i MOCVD-processer.
Almindelige metoder til fremstilling af siliciumcarbidbelægning
Ⅰ● Kemisk dampaflejring (CVD) siliciumcarbidbelægning
I denne metode dannes SiC-belægninger ved at placere substrater i et reaktionskammer, hvor methyltrichlorsilan (MTS) fungerer som en precursor. Under kontrollerede forhold - typisk 950-1300°C og undertryk - undergår MTS'en nedbrydning, og siliciumcarbid aflejres på overfladen. Denne CVD SiC-belægningsproces sikrer en tæt, ensartet belægning med fremragende vedhæftning, ideel til højpræcisionsanvendelser i halvleder- og rumfartssektoren.
Ⅱ● Prækursorkonverteringsmetode (polymerimprægnering og pyrolyse – PIP)
En anden effektiv metode til spraybelægning af siliciumcarbid er precursorkonverteringsmetoden, som involverer nedsænkning af den forbehandlede prøve i en keramisk precursoropløsning. Efter støvsugning af imprægneringstanken og tryksætning af belægningen opvarmes prøven, hvilket fører til dannelse af siliciumcarbidbelægning ved afkøling. Denne metode er foretrukket til komponenter, der kræver ensartet belægningstykkelse og forbedret slidstyrke.
Fysiske egenskaber af siliciumcarbidbelægning
Siliciumcarbidbelægninger udviser egenskaber, der gør dem ideelle til krævende industrielle anvendelser. Disse egenskaber omfatter:
Termisk ledningsevne: 120-270 W/m·K
Termisk udvidelseskoefficient: 4,3 × 10^(-6)/K (ved 20~800 ℃)
Elektrisk modstand: 10^5– 10^6Ω·cm
Hårdhed: Mohs skala 9
Anvendelse af siliciumcarbidbelægning
I halvlederfremstilling beskytter siliciumcarbidbelægning til MOCVD og andre højtemperaturprocesser kritisk udstyr, såsom reaktorer og susceptorer, ved at tilbyde både højtemperaturbestandighed og stabilitet. I rumfart og forsvar påføres siliciumcarbid keramiske belægninger på komponenter, der skal modstå højhastighedspåvirkninger og korrosive miljøer. Ydermere kan siliciumcarbidmaling eller -belægninger også bruges på medicinsk udstyr, der kræver holdbarhed under steriliseringsprocedurer.
Hvorfor vælge siliciumcarbidbelægning?
Med en dokumenteret rekord i at forlænge komponenternes levetid, giver siliciumcarbidbelægninger uovertruffen holdbarhed og temperaturstabilitet, hvilket gør dem omkostningseffektive til langtidsbrug. Ved at vælge en overfladebelagt siliciumcarbid får industrier fordel af reducerede vedligeholdelsesomkostninger, forbedret udstyrspålidelighed og forbedret driftseffektivitet.
Hvorfor vælge VET ENERGY?
VET ENERGY er en professionel producent og fabrik af siliciumcarbidbelægningsprodukter i Kina. De vigtigste SiC-belægningsprodukter inkluderer siliciumcarbid keramisk belægningsvarmer,CVD Siliciumcarbid Coating MOCVD Susceptor, MOCVD grafitbærer med CVD SiC belægning, SiC Coated Graphite Base Carriers, Siliciumcarbidbelagt grafitsubstrat til halvleder,SiC belægning/coated grafitsubstrat/bakke til halvleder, CVD SiC Coated Carbon-carbon Composite CFC Boat Form. VET ENERGY er forpligtet til at levere avanceret teknologi og produktløsninger til halvlederindustrien. Vi håber inderligt at blive din langsigtede partner i Kina.
Indlægstid: Sep-02-2023