Under dampfase-epitaksi (VPE)-processen er piedestalens rolle at understøtte substratet og sikre ensartet opvarmning under vækstprocessen. Forskellige typer piedestaler er velegnede til forskellige vækstbetingelser og materialesystemer. Følgende er nogle af de almindeligt anvendte piedestaltyper i dampfaseepitaksi:
Tønde piedestal
Tøndesøjler bruges almindeligvis i vandrette eller skrå dampfase-epitaxisystemer. De kan holde på substratet og tillade gassen at strømme over substratet, hvilket hjælper med at opnå ensartet epitaksial vækst.
Skiveformet piedestal (lodret piedestal)
Skiveformede piedestaler er velegnede til vertikale dampfase-epitaksisystemer, hvor underlaget er placeret lodret. Dette design hjælper med at reducere kontaktområdet mellem substratet og susceptoren og reducerer derved varmetab og potentiel forurening.
Horisontal susceptor
Horisontale susceptorer er mindre almindelige i dampfaseepitaksi, men kan bruges i nogle specifikke vækstsystemer for at tillade epitaksial vækst i vandret retning.
Monolitisk epitaksial reaktionssusceptor
Den monolitiske epitaksiale reaktionssusceptor er designet til et enkelt substrat, som kan give mere præcis temperaturkontrol og bedre termisk isolering, velegnet til vækst af højkvalitets epitaksiale lag.
Velkommen til vores hjemmeside for produktinformation og rådgivning.
Vores hjemmeside: https://www.vet-china.com/
Indlægstid: 30-jul-2024