Mae wafer epitaxial carbid silicon VET Energy (SiC) yn ddeunydd lled-ddargludyddion bandgap eang perfformiad uchel gyda gwrthiant tymheredd uchel rhagorol, amledd uchel a nodweddion pŵer uchel. Mae'n swbstrad delfrydol ar gyfer y genhedlaeth newydd o ddyfeisiau electronig pŵer. Mae VET Energy yn defnyddio technoleg epitaxial MOCVD uwch i dyfu haenau epitaxial SiC o ansawdd uchel ar swbstradau SiC, gan sicrhau perfformiad rhagorol a chysondeb y wafer.
Mae ein Wafer Epitaxial Silicon Carbide (SiC) yn cynnig cydnawsedd rhagorol ag amrywiaeth o ddeunyddiau lled-ddargludyddion gan gynnwys Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, a SiN Substrate. Gyda'i haen epitaxial gadarn, mae'n cefnogi prosesau datblygedig fel twf Epi Wafer ac integreiddio â deunyddiau fel Gallium Oxide Ga2O3 ac AlN Wafer, gan sicrhau defnydd amlbwrpas ar draws gwahanol dechnolegau. Wedi'i gynllunio i fod yn gydnaws â systemau trin Casét o safon diwydiant, mae'n sicrhau gweithrediadau effeithlon a symlach mewn amgylcheddau gwneuthuriad lled-ddargludyddion.
Nid yw llinell gynnyrch VET Energy wedi'i chyfyngu i wafferi epitaxial SiC. Rydym hefyd yn darparu ystod eang o ddeunyddiau swbstrad lled-ddargludyddion, gan gynnwys Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, Epi Wafer, ac ati Yn ogystal, rydym hefyd wrthi'n datblygu deunyddiau lled-ddargludyddion bandgap eang newydd, megis Gallium Oxide Ga2O3 ac AlN Wafer, i gwrdd â galw'r diwydiant electroneg pŵer yn y dyfodol am ddyfeisiadau perfformiad uwch.
MANYLION WAFERING
*n-Pm=n-math Pm-Gradd, n-Ps=n-math Ps-Gradd,Sl= Lled-ynysu
Eitem | 8-Modfedd | 6-modfedd | 4-modfedd | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Bow(GF3YFCD) - Gwerth Absoliwt | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Ystof(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Ymyl Waffer | Beveling |
GORFFEN WYNEB
*n-Pm=n-math Pm-Gradd, n-Ps=n-math Ps-Gradd,Sl= Lled-ynysu
Eitem | 8-Modfedd | 6-modfedd | 4-modfedd | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Gorffen Arwyneb | Ochr dwbl Pwyleg Optegol, Si- Face CMP | ||||
Garwder Arwyneb | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Wyneb Ra≤0.2nm | |||
Sglodion Ymyl | Dim wedi'i ganiatáu (hyd a lled ≥0.5mm) | ||||
mewnoliadau | Dim wedi'i ganiatáu | ||||
Crafiadau (Si-Wyneb) | Qty.≤5, Cronnus | Qty.≤5, Cronnus | Qty.≤5, Cronnus | ||
Craciau | Dim wedi'i ganiatáu | ||||
Gwahardd Ymyl | 3mm |