Mae Dual-Damascene yn dechnoleg broses a ddefnyddir i gynhyrchu rhyng-gysylltiadau metel mewn cylchedau integredig. Mae'n ddatblygiad pellach o'r broses Damascus. Trwy ffurfio trwy dyllau a rhigolau ar yr un pryd yn yr un cam proses a'u llenwi â metel, gwireddir gweithgynhyrchu integredig rhyng-gysylltiadau metel.
Pam mae'n cael ei alw'n Ddamascus?
Dinas Damascus yw prifddinas Syria, ac mae cleddyfau Damascus yn enwog am eu miniogrwydd a'u gwead coeth. Mae angen math o broses fewnosod: yn gyntaf, mae'r patrwm gofynnol wedi'i engrafio ar wyneb dur Damascus, ac mae'r deunyddiau a baratowyd ymlaen llaw wedi'u gosod yn dynn yn y rhigolau wedi'u hysgythru. Ar ôl cwblhau'r mewnosodiad, gall yr wyneb fod ychydig yn anwastad. Bydd y crefftwr yn ei sgleinio'n ofalus i sicrhau'r llyfnder cyffredinol. Ac mae'r broses hon yn y prototeip o'r broses Damascus deuol y sglodion. Yn gyntaf, mae rhigolau neu dyllau yn cael eu hysgythru yn yr haen dielectrig, ac yna mae metel yn cael ei lenwi ynddynt. Ar ôl llenwi, bydd y metel gormodol yn cael ei ddileu gan cmp.
Mae prif gamau'r broses damascene deuol yn cynnwys:
▪ Dyddodiad haen deuelectrig:
Adneuo haen o ddeunydd dielectrig, fel silicon deuocsid (SiO2), ar y lled-ddargludyddwafer.
▪ Ffotolithograffeg i ddiffinio'r patrwm:
Defnyddiwch ffotolithograffeg i ddiffinio patrwm vias a ffosydd ar yr haen deuelectrig.
▪Ysgythriad:
Trosglwyddwch batrwm y vias a'r ffosydd i'r haen deuelectrig trwy broses ysgythru sych neu wlyb.
▪ Dyddodiad metel:
Adneuo metel, fel copr (Cu) neu alwminiwm (Al), mewn vias a ffosydd i ffurfio rhyng-gysylltiadau metel.
▪ Sgleinio mecanyddol cemegol:
Caboli mecanyddol cemegol yr arwyneb metel i gael gwared â gormod o fetel a gwastatáu'r wyneb.
O'i gymharu â'r broses weithgynhyrchu rhyng-gysylltiad metel traddodiadol, mae gan y broses damascene deuol y manteision canlynol:
▪Camau proses symlach:trwy ffurfio vias a ffosydd ar yr un pryd yn yr un cam proses, mae'r camau proses a'r amser gweithgynhyrchu yn cael eu lleihau.
▪Gwella effeithlonrwydd gweithgynhyrchu:oherwydd y gostyngiad mewn camau proses, gall y broses damascene deuol wella effeithlonrwydd gweithgynhyrchu a lleihau costau cynhyrchu.
▪Gwella perfformiad rhyng-gysylltiadau metel:gall y broses damascene deuol gyflawni rhyng-gysylltiadau metel culach, a thrwy hynny wella integreiddio a pherfformiad cylchedau.
▪Lleihau cynhwysedd a gwrthiant parasitig:trwy ddefnyddio deunyddiau dielectrig isel-k a gwneud y gorau o strwythur rhyng-gysylltiadau metel, gellir lleihau cynhwysedd a gwrthiant parasitig, gan wella perfformiad cyflymder a defnydd pŵer cylchedau.
Amser postio: Tachwedd-25-2024