Proses twf grisial carbid silicon a thechnoleg offer

1. Llwybr technoleg twf grisial SiC

PVT (dull sychdarthiad),

HTCVD (CVD tymheredd uchel),

LPE(dull cyfnod hylif)

yn dri gyffredinSiC grisialdulliau twf;

Y dull mwyaf cydnabyddedig yn y diwydiant yw'r dull PVT, ac mae mwy na 95% o grisialau sengl SiC yn cael eu tyfu gan y dull PVT;

DiwydiannolSiC grisialmae ffwrnais twf yn defnyddio llwybr technoleg PVT prif ffrwd y diwydiant.

2. Proses twf grisial SiC

Synthesis powdwr-triniaeth grisial hadau-tyfiant crisial-anelio ingot-wafferprosesu.

3. dull PVT i dyfuCrisialau SiC

Mae'r deunydd crai SiC yn cael ei osod ar waelod y crucible graffit, ac mae'r grisial hadau SiC ar frig y crucible graffit. Trwy addasu'r inswleiddio, mae'r tymheredd yn y deunydd crai SiC yn uwch ac mae'r tymheredd yn y grisial hadau yn is. Mae deunydd crai SiC ar dymheredd uchel yn aruchel ac yn dadelfennu'n sylweddau cyfnod nwy, sy'n cael eu cludo i'r grisial hadau gyda thymheredd is ac yn crisialu i ffurfio crisialau SiC. Mae'r broses twf sylfaenol yn cynnwys tair proses: dadelfennu a sublimation deunyddiau crai, trosglwyddo màs, a chrisialu ar grisialau hadau.

Dadelfeniad a sychdarthiad deunyddiau crai:

SiC(S)= Si(g)+C(S)

2SiC(S)= Si(g)+ SiC2(g)

2SiC(S)=C(S)+SiC2(g)

Yn ystod trosglwyddiad màs, mae anwedd Si yn adweithio ymhellach gyda'r wal crucible graffit i ffurfio SiC2 a Si2C:

Si(g)+2C(S) =SiC2(g)

2Si(g) +C(S)=Si2C(g)

Ar wyneb y grisial hadau, mae'r tri cham nwy yn tyfu trwy'r ddwy fformiwla ganlynol i gynhyrchu crisialau carbid silicon:

SiC2_(g)+Si2C_(g)=3SiC_(s)

Si_(g)+SiC2_(g)=2SiC_(S)

4. Dull PVT i dyfu llwybr technoleg offer twf grisial SiC

Ar hyn o bryd, mae gwresogi ymsefydlu yn llwybr technoleg cyffredin ar gyfer ffwrneisi twf grisial dull PVT SiC;

Gwresogi ymsefydlu allanol coil a gwresogi ymwrthedd graffit yw cyfeiriad datblyguSiC grisialffwrneisi twf.

5. Ffwrnais twf gwresogi ymsefydlu SiC 8-modfedd

(1) Gwresogi ycrucible graffit elfen wresogitrwy sefydlu maes magnetig; rheoleiddio'r maes tymheredd trwy addasu'r pŵer gwresogi, sefyllfa'r coil, a'r strwythur inswleiddio;

(2) Gwresogi y crucible graffit drwy graffit ymwrthedd gwresogi a thermol dargludiad ymbelydredd; rheoli'r maes tymheredd trwy addasu cerrynt y gwresogydd graffit, strwythur y gwresogydd, a rheolaeth gyfredol y parth;