Croeso i'n gwefan ar gyfer gwybodaeth am gynnyrch ac ymgynghori.
Ein gwefan:https://www.vet-china.com/
Ysgythriad o Poly a SiO2:
Ar ôl hyn, mae gormodedd Poly a SiO2 yn cael eu hysgythru i ffwrdd, hynny yw, eu tynnu. Ar hyn o bryd, cyfeiriadolysgythriadyn cael ei ddefnyddio. Yn y dosbarthiad o ysgythru, mae dosbarthiad ysgythru cyfeiriadol ac ysgythru nad ydynt yn gyfeiriadol. Mae ysgythru cyfeiriadol yn cyfeirio atysgythriadmewn cyfeiriad penodol, tra bod ysgythru nad yw'n gyfeiriadol yn angyfeiriadol (dywedais ormod yn ddamweiniol. Yn fyr, mae'n tynnu SiO2 i gyfeiriad penodol trwy asidau a seiliau penodol). Yn yr enghraifft hon, rydym yn defnyddio ysgythru cyfeiriadol i lawr i gael gwared ar SiO2, ac mae'n dod fel hyn.
Yn olaf, tynnwch y photoresist. Ar yr adeg hon, nid y dull o gael gwared ar y photoresist yw'r activation trwy arbelydru golau a grybwyllir uchod, ond trwy ddulliau eraill, oherwydd nid oes angen i ni ddiffinio maint penodol ar hyn o bryd, ond i gael gwared ar yr holl ffotoresist. Yn olaf, daw fel y dangosir yn y ffigur canlynol.
Yn y modd hwn, rydym wedi cyflawni'r pwrpas o gadw lleoliad penodol y Poly SiO2.
Ffurfio'r ffynhonnell a'r draen:
Yn olaf, gadewch i ni ystyried sut mae'r ffynhonnell a'r draen yn cael eu ffurfio. Mae pawb yn dal i gofio inni siarad amdano yn y rhifyn diwethaf. Mae'r ffynhonnell a'r draen yn cael eu mewnblannu â ïon gyda'r un math o elfennau. Ar yr adeg hon, gallwn ddefnyddio ffotoresist i agor y ffynhonnell / ardal ddraenio lle mae angen mewnblannu'r math N. Gan mai dim ond fel enghraifft y cymerwn NMOS, bydd pob rhan yn y ffigur uchod yn cael ei hagor, fel y dangosir yn y ffigur canlynol.
Gan na ellir mewnblannu'r rhan a gwmpesir gan y ffotoresydd (mae'r golau wedi'i rwystro), dim ond ar yr NMOS gofynnol y bydd elfennau math N yn cael eu mewnblannu. Gan fod y swbstrad o dan y poly wedi'i rwystro gan poly a SiO2, ni fydd yn cael ei fewnblannu, felly mae'n dod fel hyn.
Ar y pwynt hwn, mae model MOS syml wedi'i wneud. Mewn theori, os ychwanegir foltedd at y ffynhonnell, draen, poly a swbstrad, gall y MOS hwn weithio, ond ni allwn gymryd stiliwr ac ychwanegu foltedd yn uniongyrchol i'r ffynhonnell a'r draen. Ar yr adeg hon, mae angen gwifrau MOS, hynny yw, ar y MOS hwn, cysylltu gwifrau i gysylltu llawer o MOS gyda'i gilydd. Gadewch i ni edrych ar y broses gwifrau.
Gwneud VIA:
Y cam cyntaf yw gorchuddio'r MOS cyfan gyda haen o SiO2, fel y dangosir yn y ffigur isod:
Wrth gwrs, mae'r SiO2 hwn yn cael ei gynhyrchu gan CVD, oherwydd ei fod yn gyflym iawn ac yn arbed amser. Mae'r canlynol yn dal i fod y broses o osod photoresist a datgelu. Ar ôl y diwedd, mae'n edrych fel hyn.
Yna defnyddiwch y dull ysgythru i ysgythru twll ar y SiO2, fel y dangosir yn y rhan llwyd yn y ffigur isod. Mae dyfnder y twll hwn yn cysylltu'n uniongyrchol â'r wyneb Si.
Yn olaf, tynnwch y photoresist a chael yr ymddangosiad canlynol.
Ar yr adeg hon, yr hyn sydd angen ei wneud yw llenwi'r dargludydd yn y twll hwn. Beth yw'r arweinydd hwn? Mae pob cwmni yn wahanol, mae'r rhan fwyaf ohonynt yn aloion twngsten, felly sut y gellir llenwi'r twll hwn? Defnyddir y dull PVD (Dadodiad Anwedd Corfforol), ac mae'r egwyddor yn debyg i'r ffigur isod.
Defnyddiwch electronau neu ïonau ynni uchel i beledu'r deunydd targed, a bydd y deunydd targed wedi'i dorri yn disgyn i'r gwaelod ar ffurf atomau, gan ffurfio'r cotio isod. Mae'r deunydd targed a welwn fel arfer yn y newyddion yn cyfeirio at y deunydd targed yma.
Ar ôl llenwi'r twll, mae'n edrych fel hyn.
Wrth gwrs, pan fyddwn yn ei lenwi, mae'n amhosib rheoli trwch y cotio i fod yn union gyfartal â dyfnder y twll, felly bydd rhywfaint o ormodedd, felly rydym yn defnyddio technoleg CMP (Caboli Mecanyddol Cemegol), sy'n swnio'n iawn pen uchel, ond mewn gwirionedd mae'n malu, yn malu'r rhannau gormodol. Mae'r canlyniad fel hyn.
Ar y pwynt hwn, rydym wedi cwblhau cynhyrchu haen o via. Wrth gwrs, mae cynhyrchu via yn bennaf ar gyfer gwifrau'r haen fetel y tu ôl.
Cynhyrchu haen metel:
O dan yr amodau uchod, rydym yn defnyddio PVD i ddadlwytho haen arall o fetel. Aloi sy'n seiliedig ar gopr yw'r metel hwn yn bennaf.
Yna ar ôl amlygiad ac ysgythru, rydym yn cael yr hyn yr ydym ei eisiau. Yna parhewch i bentyrru nes i ni ddiwallu ein hanghenion.
Pan fyddwn yn llunio'r cynllun, byddwn yn dweud wrthych faint o haenau o fetel a thrwy'r broses a ddefnyddir y gellir eu pentyrru ar y mwyaf, sy'n golygu faint o haenau y gellir eu pentyrru.
Yn olaf, cawn y strwythur hwn. Y pad uchaf yw pin y sglodion hwn, ac ar ôl pecynnu, mae'n dod yn pin y gallwn ei weld (wrth gwrs, fe'i tynnais ar hap, nid oes unrhyw arwyddocâd ymarferol, dim ond er enghraifft).
Dyma'r broses gyffredinol o wneud sglodion. Yn y rhifyn hwn, fe wnaethom ddysgu am yr amlygiad pwysicaf, ysgythru, mewnblannu ïon, tiwbiau ffwrnais, CVD, PVD, CMP, ac ati mewn ffowndri lled-ddargludyddion.
Amser post: Awst-23-2024