SUT I WNEUD WAFER SILICON
A waferyn sleisen o silicon tua 1 milimetr o drwch sydd ag arwyneb gwastad iawn diolch i weithdrefnau sy'n dechnegol anodd iawn. Mae'r defnydd dilynol yn pennu pa weithdrefn tyfu grisial y dylid ei defnyddio. Yn y broses Czochralski, er enghraifft, mae'r silicon polycrystalline yn cael ei doddi ac mae crisial hadau tenau pensil yn cael ei drochi i'r silicon tawdd. Yna caiff y grisial hadau ei gylchdroi a'i dynnu'n araf i fyny. Mae colosws trwm iawn, monocrystal, yn arwain at ganlyniadau. Mae'n bosibl dewis nodweddion trydanol y monocrystal trwy ychwanegu unedau bach o dopants purdeb uchel. Mae'r crisialau'n cael eu dopio yn unol â manylebau'r cwsmer ac yna'n cael eu sgleinio a'u torri'n dafelli. Ar ôl gwahanol gamau cynhyrchu ychwanegol, mae'r cwsmer yn derbyn ei wafferi penodedig mewn pecynnu arbennig, sy'n caniatáu i'r cwsmer ddefnyddio'r wafer ar unwaith yn ei linell gynhyrchu.
PROSES CZOCHRALSKI
Heddiw, mae cyfran fawr o'r monocristalau silicon yn cael eu tyfu yn ôl y broses Czochralski, sy'n cynnwys toddi silicon polycrystalline purdeb uchel mewn crucible cwarts hyperpur ac ychwanegu'r dopant (fel arfer B, P, As, Sb). Mae crisial hedyn monocrystalline tenau yn cael ei drochi i'r silicon tawdd. Yna mae grisial CZ mawr yn datblygu o'r grisial tenau hwn. Mae rheoleiddio tymheredd a llif silicon tawdd yn fanwl gywir, y cylchdro grisial a'r crucible, yn ogystal â chyflymder tynnu grisial yn arwain at ingot silicon monocrystalline o ansawdd uchel iawn.
DULL PARTH ARNO
Mae monocrystals a weithgynhyrchir yn unol â'r dull parth arnofio yn ddelfrydol i'w defnyddio mewn cydrannau lled-ddargludyddion pŵer, megis IGBTs. Mae ingot silicon polycrystalline silindrog wedi'i osod dros coil ymsefydlu. Mae maes electromagnetig amledd radio yn helpu i doddi'r silicon o ran isaf y gwialen. Mae'r maes electromagnetig yn rheoleiddio'r llif silicon trwy dwll bach yn y coil ymsefydlu ac i'r monocrystal sy'n gorwedd islaw (dull parth arnofio). Cyflawnir y dopio, fel arfer gyda B neu P, trwy ychwanegu sylweddau nwyol.
Amser postio: Mehefin-07-2021