Yn ystod y broses epitaxy cyfnod anwedd (VPE), rôl y pedestal yw cefnogi'r swbstrad a sicrhau gwresogi unffurf yn ystod y broses dwf. Mae gwahanol fathau o bedestalau yn addas ar gyfer gwahanol amodau twf a systemau deunydd. Mae'r canlynol yn rhai o'r mathau pedestal a ddefnyddir yn gyffredin yn y cyfnod anweddepitacsi:
Pedestal casgen
Defnyddir pedestalau casgen yn gyffredin mewn systemau epitaxy cam anwedd llorweddol neu ar ogwydd. Gallant ddal y swbstrad a chaniatáu i'r nwy lifo dros yr is-haen, sy'n helpu i gyflawni twf epitaxial unffurf.
Pedestal siâp disg (pedestal fertigol)
Mae pedestalau siâp disg yn addas ar gyfer systemau epitaxy cyfnod anwedd fertigol, lle mae'r swbstrad wedi'i osod yn fertigol. Mae'r dyluniad hwn yn helpu i leihau'r ardal gyswllt rhwng y swbstrad a'r susceptor, a thrwy hynny leihau colli gwres a halogiad posibl.
Susceptor llorweddol
Mae atalyddion llorweddol yn llai cyffredin mewn epitacsi cyfnod anwedd, ond gellir eu defnyddio mewn rhai systemau twf penodol i ganiatáu twf epitaxial mewn cyfeiriad llorweddol.
Susceptor adwaith epitaxial monolithig
Mae'r susceptor adwaith epitaxial monolithig wedi'i gynllunio ar gyfer un swbstrad, a all ddarparu rheolaeth tymheredd mwy manwl gywir a gwell ynysu thermol, sy'n addas ar gyfer twf haenau epitaxial o ansawdd uchel.
Croeso i'n gwefan ar gyfer gwybodaeth am gynnyrch ac ymgynghori.
Ein gwefan: https://www.vet-china.com/
Amser postio: Gorff-30-2024