Targedau sputteringyn cael eu defnyddio'n bennaf yn y diwydiannau electroneg a gwybodaeth, megis cylchedau integredig, storio gwybodaeth, arddangosfeydd crisial hylifol, atgofion laser, dyfeisiau rheoli electronig, ac ati Gellir eu defnyddio hefyd ym maes cotio gwydr, yn ogystal ag mewn gwrthsefyll traul deunyddiau, ymwrthedd cyrydiad tymheredd uchel, cynhyrchion addurnol pen uchel a diwydiannau eraill.
Sputtering yw un o'r prif dechnegau ar gyfer paratoi deunyddiau ffilm tenau.Mae'n defnyddio ïonau a gynhyrchir gan ffynonellau ïon i gyflymu ac agregu mewn gwactod i ffurfio trawstiau ïon ynni cyflym, peledu'r wyneb solet, a chyfnewid egni cinetig rhwng ïonau ac atomau arwyneb solet. Mae'r atomau ar yr wyneb solet yn gadael y solet ac yn cael eu hadneuo ar wyneb y swbstrad. Y solet wedi'i beledu yw'r deunydd crai ar gyfer adneuo ffilmiau tenau trwy sputtering, a elwir yn sputtering target. Mae gwahanol fathau o ddeunyddiau ffilm tenau sputtered wedi'u defnyddio'n helaeth mewn cylchedau integredig lled-ddargludyddion, cyfryngau recordio, arddangosfeydd panel gwastad a haenau arwyneb workpiece.
Ymhlith yr holl ddiwydiannau cais, mae gan y diwydiant lled-ddargludyddion y gofynion ansawdd mwyaf llym ar gyfer targed sputtering films.High-purity metel sputtering targedau yn cael eu defnyddio yn bennaf mewn gweithgynhyrchu wafferi a phrosesau pecynnu uwch. Gan gymryd gweithgynhyrchu sglodion fel enghraifft, gallwn weld, o wafer silicon i sglodyn, bod angen iddo fynd trwy 7 proses gynhyrchu fawr, sef trylediad (Proses Thermol), Ffoto-lithograffeg (Ffoto-lithograffeg), Etch (Etch), Mewnblannu Ion (IonImplant), Twf Ffilm Tenau (Dyddodiad Dielectric), sgleinio Mecanyddol Cemegol (CMP), Meteleiddio (Metaleiddio) Mae'r prosesau'n cyfateb fesul un. Defnyddir y targed sputtering yn y broses o "meteleiddio". Mae'r targed yn cael ei beledu â gronynnau ynni uchel gan offer dyddodiad ffilm tenau ac yna mae haen fetel â swyddogaethau penodol yn cael ei ffurfio ar y wafer silicon, fel haen dargludol, haen rhwystr. Arhoswch.Gan fod prosesau'r lled-ddargludyddion cyfan yn amrywiol, yna mae angen rhai sefyllfaoedd achlysurol i wirio bod y system yn bodoli'n gywir felly rydym yn mynnu rhai mathau o ddeunyddiau ffug ar rai camau cynhyrchu i gadarnhau'r effeithiau.
Amser post: Ionawr-17-2022