VET YnniMae cludwr graffit proses PECVD yn ddefnydd traul o ansawdd uchel wedi'i deilwra ar gyfer proses PECVD (dyddodiad anwedd cemegol plasma wedi'i wella). Mae'r cludwr graffit hwn wedi'i wneud o ddeunydd graffit uchel-purdeb, dwysedd uchel, gydag ymwrthedd tymheredd uchel rhagorol, ymwrthedd cyrydiad, sefydlogrwydd dimensiwn a nodweddion eraill, a all ddarparu llwyfan cludwr sefydlog ar gyfer proses PECVD, er mwyn sicrhau unffurfiaeth a gwastadrwydd ffilm denau dyddodiad.
Mae gan gludwyr graffit ar gyfer proses PECVD y nodweddion canlynol:
▪ Purdeb uchel: cynnwys amhuredd hynod o isel, gan osgoi halogi'r ffilm a sicrhau ansawdd y ffilm.
▪ Dwysedd uchel: dwysedd uchel, cryfder mecanyddol uchel, yn gallu gwrthsefyll tymheredd uchel a gwasgedd uchel amgylchedd PECVD.
▪ Sefydlogrwydd dimensiwn da: newid dimensiwn bach ar dymheredd uchel, gan sicrhau sefydlogrwydd proses.
▪ Dargludedd thermol ardderchog: trosglwyddwch wres yn effeithiol i atal afrlladen rhag gorboethi.
▪ Gwrthiant cyrydiad cryf: yn gallu gwrthsefyll erydiad gan wahanol nwyon cyrydol a phlasma.
▪ Gwasanaeth wedi'i addasu: gellir addasu cludwyr graffit o wahanol feintiau a siapiau yn unol ag anghenion cwsmeriaid.
Deunydd graffit o SGL:
Paramedr nodweddiadol: R6510 | |||
Mynegai | Safon prawf | Gwerth | Uned |
Maint grawn cyfartalog | ISO 13320 | 10 | μm |
Dwysedd swmp | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
mandylledd agored | DIN66133 | 10 | % |
Maint mandwll canolig | DIN66133 | 1.8 | μm |
Athreiddedd | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
Caledwch Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
Gwrthedd trydanol penodol | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
Cryfder hyblyg | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
Cryfder cywasgol | DIN 51910 | 130 | MPa |
Modwlws Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
Ehangu thermol (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
Dargludedd thermol (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Fe'i cynlluniwyd yn benodol ar gyfer gweithgynhyrchu celloedd solar effeithlonrwydd uchel, gan gefnogi prosesu wafferi maint mawr G12. Mae dyluniad cludwyr optimaidd yn cynyddu trwybwn yn sylweddol, gan alluogi cyfraddau cynnyrch uwch a chostau cynhyrchu is.
Eitem | Math | Cludwr afrlladen rhif |
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 156 | 156-13 cwch grephite | 144 |
156-19 cwch grephite | 216 | |
156-21 cwch grephite | 240 | |
156-23 cwch graffit | 308 | |
Cwch Grephite PEVCD - Y gyfres 125 | 125-15 cwch grephite | 196 |
125-19 cwch grephite | 252 | |
125-21 cwch grphite | 280 |