Yr UwchSiC Cantilever Paddlear gyfer Prosesu Wafer a grëwyd gan filfeddyg-china yn darparu ateb ardderchog ar gyfer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion. Mae'r padl cantilifer hwn wedi'i wneud o ddeunydd SiC (silicon carbide), ac mae ei galedwch uchel a'i wrthwynebiad gwres yn ei alluogi i gynnal perfformiad rhagorol mewn amgylcheddau tymheredd uchel a chyrydol. Mae dyluniad y Paddle Cantilever yn caniatáu i'r wafer gael ei gefnogi'n ddibynadwy yn ystod prosesu, gan leihau'r risg o ddarnio a difrod.
SiC Cantilever Paddleyn elfen arbenigol a ddefnyddir mewn offer gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion megis ffwrnais ocsideiddio, ffwrnais tryledu, a ffwrnais anelio, y prif ddefnydd yw ar gyfer llwytho a dadlwytho wafferi, cynnal a chludo wafferi yn ystod prosesau tymheredd uchel.
Strwythurau cyffredinoSiCcantileverpaddle: mae strwythur cantilifer, wedi'i osod ar un pen ac yn rhydd ar y pen arall, fel arfer â dyluniad gwastad a phadlo.
Mae VET Energy yn defnyddio deunyddiau carbid silicon wedi'u hailgrisialu purdeb uchel i warantu ansawdd.
Priodweddau ffisegol Silicon Carbide wedi'i Ailgrisialu | |
Eiddo | Gwerth Nodweddiadol |
Tymheredd gweithio (°C) | 1600 ° C (gydag ocsigen), 1700 ° C (amgylchedd lleihau) |
Cynnwys SiC | > 99.96% |
Cynnwys Si am ddim | < 0.1% |
Dwysedd swmp | 2.60-2.70 g / cm3 |
Mandylledd ymddangosiadol | < 16% |
Cryfder cywasgu | >600MPa |
Cryfder plygu oer | 80-90 MPa (20 ° C) |
Cryfder plygu poeth | 90-100 MPa (1400 ° C) |
Ehangu thermol @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°C |
Dargludedd thermol @ 1200 ° C | 23W/m•K |
Modwlws elastig | 240 GPa |
Gwrthiant sioc thermol | Hynod o dda |
Manteision Padlo Cantilever SiC Uwch VET Energy ar gyfer Prosesu Wafferi yw:
- Sefydlogrwydd tymheredd uchel: gellir ei ddefnyddio mewn amgylcheddau uwch na 1600 ° C;
-Cyfernod ehangu thermol isel: yn cynnal sefydlogrwydd dimensiwn, gan leihau risg warpage wafferi;
-Purdeb uchel: risg is o halogiad metel;
-Anadweithedd cemegol: gwrthsefyll cyrydiad, sy'n addas ar gyfer gwahanol amgylcheddau nwy;
-Cryfder a chaledwch uchel: Bywyd gwasanaeth hir sy'n gwrthsefyll traul;
- Dargludedd thermol da: yn helpu i wresogi wafferi unffurf.