Co je sic povlak? – VET ENERGIE

Karbid křemíkuje tvrdá sloučenina obsahující křemík a uhlík a v přírodě se vyskytuje jako extrémně vzácný minerál moissanit. Částice karbidu křemíku lze spojovat slinováním za vzniku velmi tvrdé keramiky, která je široce používána v aplikacích vyžadujících vysokou odolnost, zejména při výrobě polovodičů.

Fyzikální struktura SiC

Co je povlak SiC?

SiC povlak je hustý povlak z karbidu křemíku odolný proti opotřebení s vysokou odolností proti korozi a teplu a vynikající tepelnou vodivostí. Tento vysoce čistý povlak SiC se primárně používá v polovodičovém a elektronickém průmyslu k ochraně waferových nosičů, bází a topných prvků před korozivním a reaktivním prostředím. Povlak SiC je také vhodný pro vakuové pece a ohřev vzorků ve vysokém vakuu, v reaktivním a kyslíkovém prostředí.

Vysoce čistý povrch SiC povlaku

Co je proces povlakování SiC?

Tenká vrstva karbidu křemíku se nanese na povrch substrátu pomocíCVD (chemická depozice z plynné fáze). Depozice se obvykle provádí při teplotách 1200-1300 °C a chování substrátu při tepelné roztažnosti by mělo být kompatibilní s povlakem SiC, aby se minimalizovalo tepelné namáhání.

KRYSTALOVÁ STRUKTURA CVD SIC FILMU

CVD SIC povlak FILM KRYSTALOVÁ STRUKTURA

Fyzikální vlastnosti povlaku SiC se odrážejí především v jeho vysoké teplotní odolnosti, tvrdosti, odolnosti proti korozi a tepelné vodivosti.

Typické fyzické parametry jsou obvykle následující:

Tvrdost: Povlak SiC má obvykle tvrdost podle Vickerse v rozmezí 2000-2500 HV, což jim dává extrémně vysokou odolnost proti opotřebení a nárazu v průmyslových aplikacích.

Hustota: Povlaky SiC mají typicky hustotu 3,1-3,2 g/cm³. Vysoká hustota přispívá k mechanické pevnosti a odolnosti povlaku.

Tepelná vodivost: Povlaky SiC mají vysokou tepelnou vodivost, typicky v rozmezí 120-200 W/mK (při 20 °C). Díky tomu má dobrou tepelnou vodivost v prostředí s vysokou teplotou a je zvláště vhodný pro zařízení na tepelné zpracování v polovodičovém průmyslu.

Bod tání: karbid křemíku má bod tání přibližně 2730 °C a má vynikající tepelnou stabilitu při extrémních teplotách.

Koeficient tepelné roztažnosti: Povlaky SiC mají nízký lineární koeficient tepelné roztažnosti (CTE), typicky v rozmezí 4,0-4,5 µm/mK (v 25-1000℃). To znamená, že jeho rozměrová stabilita je vynikající při velkých teplotních rozdílech.

Odolnost proti korozi: Povlaky SiC jsou extrémně odolné vůči korozi v silně kyselém, alkalickém a oxidačním prostředí, zvláště při použití silných kyselin (jako je HF nebo HCl), jejich odolnost proti korozi daleko převyšuje odolnost běžných kovových materiálů.

SiC povlaky lze aplikovat na následující materiály:

Vysoce čistý izostatický grafit (nízký CTE)
Wolfram
Molybden
Karbid křemíku
Nitrid křemíku
Kompozity uhlík-uhlík (CFC)

Výrobky s povlakem SiC se běžně používají v následujících oblastech:

Výroba LED čipů
Výroba polysilikonu
Polovodičrůst krystalů
Křemík aSiC epitaxe
Tepelné zpracování plátků a leptání

Proč zvolit VET Energy?

VET Energy je předním výrobcem, inovátorem a lídrem v oblasti povlaků SiC v Číně, mezi hlavní produkty povlaků SiC patřínosič destičky s povlakem SiCs povlakem SiCepitaxní susceptor, Grafitový kroužek potažený SiC, Části půlměsíce s povlakem SiC, Kompozit uhlík-uhlík potažený SiC, Lodička s povlakem SiC, Topné těleso potažené SiCatd. Společnost VET Energy se zavázala poskytovat polovodičovému průmyslu špičková technologie a produktová řešení a podporuje služby přizpůsobení. Upřímně se těšíme, že budeme vaším dlouhodobým partnerem v Číně.